特許

J-GLOBAL ID：202003013221260196

基板処理装置および基板処理方法

発明者： 福原 文人 ,  三ツ林 武
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-139015
公開番号（公開出願番号）：特開2020-017604
出願日： 2018年07月25日
公開日（公表日）： 2020年01月30日
要約：

【課題】複数の基板を一纏まりとして装置間を搬送しつつ順次処理部および同時処理部において適切に搬送および処理を行うことができる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置は受入部と順次処理部と同時処理部と制御部とを備える。受入部は、識別情報と位置情報とレシピ情報とを含む全体基板データが付与された複数の基板を受け入れる。順次処理部は複数の基板Wを順次、搬送しつつ処理する。同時処理部は複数の基板を同時に処理する。制御部は、複数の基板の各々に固有の個別基板データを、全体基板データに基づいて生成し、個別基板データに基づいて順次処理部における複数の基板の各々に対する搬送および処理を制御し、順次処理部により処理された複数の基板が出口位置に揃ったときに、個別基板データに基づいて全体基板データを生成し、全体基板データに基づいて前記同時処理部における前記複数の基板の搬送および処理を制御する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板処理装置であって、 複数の基板を識別するための固有の識別情報と、前記複数の基板の搬送方向における位置関係を示す位置情報と、処理内容を規定するための前記複数の基板に共通のレシピ情報とを含む全体基板データが付与された複数の基板を受け入れる受入部と、 前記複数の基板を順次、搬送しつつ処理する順次処理部と、 前記複数の基板を同時に処理する同時処理部と 制御部と を備え、 前記制御部は、 前記複数の基板の各々に固有のデータであって、前記識別情報、前記位置情報および前記レシピ情報を含む個別基板データを、前記全体基板データに基づいて生成し、 前記個別基板データに基づいて前記順次処理部における前記複数の基板の各々に対する搬送および処理を制御し、 前記順次処理部により処理された複数の基板が出口位置に揃ったときに、前記個別基板データに基づいて前記全体基板データを生成し、 前記全体基板データに基づいて前記同時処理部における前記複数の基板の搬送および処理を制御する、基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/30 562

Fターム (43件)：

5F131AA03 ,  5F131AA12 ,  5F131AA32 ,  5F131BA12 ,  5F131BA13 ,  5F131BA14 ,  5F131BA37 ,  5F131CA32 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DA43 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DB88 ,  5F131DC22 ,  5F131DD29 ,  5F131DD33 ,  5F131DD43 ,  5F131DD46 ,  5F131DD52 ,  5F131DD53 ,  5F131DD54 ,  5F131DD63 ,  5F131DD65 ,  5F131DD83 ,  5F131DD85 ,  5F131DD94 ,  5F131EA04 ,  5F131EA06 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82 ,  5F131HA42 ,  5F131HA44 ,  5F131KA16 ,  5F131KB23 ,  5F131KB32 ,  5F146LA11 ,  5F146LA18