特許

J-GLOBAL ID：202003013347096111

光または電子線に応答するパターン反転組成物およびそれを用いたパターン形成方法

発明者： 志垣 修平 ,  中島 誠 ,  柴山 亘 ,  石橋 謙
出願人/特許権者： 日産化学株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 津国
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-151064
公開番号（公開出願番号）：特開2020-027841
出願日： 2018年08月10日
公開日（公表日）： 2020年02月20日
要約：

【課題】粗密差が大きく、被覆すべき段差の幅が広い段差基盤を平坦化する組成物(被覆材)を提供する。【解決手段】加水分解性シラン原料の加水分解縮合物を含むポリシロキサンと溶媒とを含む、有機パターン上に塗布される有機パターン平坦化用組成物であって、上記ポリシロキサンが、Si原子に対し、シラノール基を40モル%以下の割合で含むものであり、上記ポリシロキサンの重量平均分子量が1,000〜50,000であり、上記ポリシロキサン中のケイ素原子、炭素原子及び酸素原子の合計質量に対する炭素原子の質量の割合が10〜40%である組成物とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

加水分解性シラン原料の加水分解縮合物を含むポリシロキサンと溶媒とを含む、有機パターン上に塗布される有機パターン平坦化用組成物であって、 上記ポリシロキサンが、Si原子に対し、シラノール基を40モル%以下の割合で含むものであり、 上記ポリシロキサンの重量平均分子量が1,000〜50,000であり、 上記ポリシロキサン中のケイ素原子、炭素原子及び酸素原子の合計質量に対する炭素原子の質量の割合が10〜40%である組成物。

IPC (5件)：

H01L 21/312 ,  C08G 77/16 ,  H01L 21/306 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/20

FI (5件)：

H01L21/312 C ,  C08G77/16 ,  H01L21/302 105A ,  G03F7/40 511 ,  G03F7/20 521

Fターム (97件)：

2H196AA25 ,  2H196HA03 ,  2H196HA34 ,  2H196JA04 ,  2H197AB08 ,  2H197CA03 ,  2H197CA06 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197GA01 ,  2H197HA03 ,  2H197JA15 ,  4J246AA03 ,  4J246AA19 ,  4J246BA120 ,  4J246BA12X ,  4J246BA170 ,  4J246BA26X ,  4J246BA270 ,  4J246BA27X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246BB02X ,  4J246CA120 ,  4J246CA129 ,  4J246CA12X ,  4J246CA240 ,  4J246CA249 ,  4J246CA24X ,  4J246CA250 ,  4J246CA259 ,  4J246CA25M ,  4J246CA25X ,  4J246CA340 ,  4J246CA349 ,  4J246CA34X ,  4J246CA390 ,  4J246CA399 ,  4J246CA39X ,  4J246CA400 ,  4J246CA409 ,  4J246CA40X ,  4J246CA660 ,  4J246CA669 ,  4J246CA66X ,  4J246CA670 ,  4J246CA679 ,  4J246CA67X ,  4J246CA680 ,  4J246CA689 ,  4J246CA68X ,  4J246CA800 ,  4J246CA809 ,  4J246CA80X ,  4J246CA830 ,  4J246CA839 ,  4J246CA83X ,  4J246CA850 ,  4J246CA859 ,  4J246CA85X ,  4J246FA071 ,  4J246FA131 ,  4J246FA321 ,  4J246FA372 ,  4J246FA431 ,  4J246FB051 ,  4J246FB082 ,  4J246GA01 ,  4J246GA12 ,  4J246GC24 ,  4J246GC60 ,  4J246GD08 ,  4J246HA15 ,  5F004AA11 ,  5F004AA16 ,  5F004DA01 ,  5F004DA03 ,  5F004DA11 ,  5F004DA14 ,  5F004DA15 ,  5F004DA16 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26 ,  5F004DB01 ,  5F004DB23 ,  5F004DB24 ,  5F004EA03 ,  5F004EA04 ,  5F058AA06 ,  5F058AC03 ,  5F058AF04 ,  5F058AG04