ナノ繊維自立膜及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：開口宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-002518
公開番号（公開出願番号）：特開2020-111864
出願日： 2020年01月10日
公開日（公表日）： 2020年07月27日
要約：

【課題】厚みの小さく、及び、表面が平坦な、CNF膜などのナノ繊維自立膜及びそのナノ繊維自立膜を用いてなり、透明性があり、かつ軽量柔軟で意匠性の高い薄膜光電変換装置を提供することを目的とする。【解決手段】ナノ繊維自立膜は、繊維状多糖を含んで構成され、膜厚が10μm未満であり、及び、主表面の表面粗さが40nm以下である。このナノ繊維自立膜は、例えば、膜厚が0.1μm以上5μm以下であり、及び、少なくとも一方の主表面の表面粗さが7nm以下である。薄膜光センサ1は透明なナノ繊維自立膜2表面にスパッタ装置を用いて光電変換に必要となるITO透明導電膜3a、N型ZnO半導体膜3b、ITO透明導電膜3cを順次作製し、電極4a、4bを装着して製作される。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

繊維状多糖を含んで構成されるナノ繊維自立膜であって、膜厚が10μm未満であり、及び、主表面の表面粗さが40nm以下であることを特徴とするナノ繊維自立膜。

IPC (4件)：

D21H 11/18 , H01L 31/039 , H01L 31/072 , H01L 31/10

FI (4件)：

D21H11/18 , H01L31/04 284 , H01L31/06 400 , H01L31/10 A

Fターム (54件)：

4L055AA02 , 4L055AA03 , 4L055AA05 , 4L055AF08 , 4L055AF09 , 4L055AF46 , 4L055CH10 , 4L055EA08 , 4L055EA11 , 4L055EA12 , 4L055FA12 , 4L055FA14 , 4L055GA01 , 4L055GA50 , 5F151AA07 , 5F151AA16 , 5F151BA15 , 5F151BA16 , 5F151CB15 , 5F151CB27 , 5F151CB29 , 5F151CB30 , 5F151DA03 , 5F151DA07 , 5F151FA02 , 5F151FA04 , 5F151FA06 , 5F151FA08 , 5F151GA03 , 5F151GA05 , 5F151GA12 , 5F849AA03 , 5F849AB01 , 5F849AB09 , 5F849AB17 , 5F849BA09 , 5F849BA25 , 5F849BA30 , 5F849BB06 , 5F849CB07 , 5F849CB15 , 5F849CB18 , 5F849CB20 , 5F849FA02 , 5F849FA04 , 5F849GA02 , 5F849GA12 , 5F849LA03 , 5F849XB08 , 5F849XB17 , 5F849XB20 , 5F849XB22 , 5F849XB40 , 5F849XB51

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