特許

J-GLOBAL ID：202003013937760670

ベント装置

発明者： 松崎 淳介
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (1件)： 特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-233532
公開番号（公開出願番号）：特開2020-095513
出願日： 2018年12月13日
公開日（公表日）： 2020年06月18日
要約：

【課題】真空容器内に存するものの破損や吹き飛ばしを防止しながら、大気雰囲気に戻すことができるベント装置を提供する。【解決手段】真空容器Lc内の圧力を測定する真空計Vgと、第1開閉弁4を有して微小流量の大気開放ガスを導入する第1ベントライン2と、第2開閉弁5を有して多量の大気開放ガスを導入する第2ベントライン3と、大気開放ガスが通過する通路断面積が可変の流量調整弁を有する第3ベントラインとを備える、第1開閉弁が開弁された後、真空計の圧力指示値が第1設定値に達すると、流量調整弁の通路断面積が次第に増加され、その通路断面積が最大になる前に真空計の圧力指示値が第1設定値より高い圧力の第2指示値に達すると、第2開閉弁を開弁する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

大気圧より低い圧力に保持された真空容器を大気開放するためのベント装置において、 真空容器内の圧力を測定する真空計と、第1開閉弁を有して微小流量の大気開放ガスを導入する第1ベントラインと、第2開閉弁を有して多量の大気開放ガスを導入する第2ベントラインと、大気開放ガスが通過する通路断面積が可変の流量調整弁を有する第3ベントラインとを備え、第1開閉弁が開弁された後、真空計の圧力指示値が第1設定値に達すると、流量調整弁の通路断面積が次第に増加され、その通路断面積が最大になる前に真空計の圧力指示値が第1設定値より高い圧力の第2指示値に達すると、第2開閉弁を開弁するように構成されることを特徴とするベント装置。

IPC (1件)：

G05D 16/20

FI (1件)：

G05D16/20 Z

Fターム (11件)：

5H316AA02 ,  5H316BB01 ,  5H316DD03 ,  5H316DD17 ,  5H316EE02 ,  5H316EE03 ,  5H316EE07 ,  5H316EE15 ,  5H316FF01 ,  5H316FF12 ,  5H316GG12