特許

J-GLOBAL ID：202003013971929241

温度センサー及び温度測定装置

発明者： 荒木 圭一
出願人/特許権者： 株式会社KRI
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-164413
公開番号（公開出願番号）：特開2020-038084
出願日： 2018年09月03日
公開日（公表日）： 2020年03月12日
要約：

【課題】 バナジウムオキソ水酸化物(H2V3O8)薄膜の電気抵抗温度依存性を利用した薄膜温度センサー及び前記温度繊センサーを用いた温度測定装置の提供。【解決手段】 本発明の温度センサーは、基材上に形成したバナジウムオキソ水酸化物(H2V3O8)の薄膜の離れた位置に薄膜の電気抵抗値を測定する2つの電極を配置したことを特徴とする。そして、本発明の温度センサーは、前記基材をフレキシブルなフィルム基材にすることにより、曲面形状を有する対象物に密着し、これらの対象物表面の温度を同時に高精度で測定することが可能である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材上に形成したバナジウムオキソ水酸化物(H2V3O8)の薄膜の離れた位置に薄膜の電気抵抗値を測定する2つの電極を配置したことを特徴とする温度センサー。

IPC (4件)：

G01K 7/22 ,  G01K 7/16 ,  H01C 7/04 ,  H01C 1/012

FI (4件)：

G01K7/22 A ,  G01K7/16 S ,  H01C7/04 ,  H01C1/012

Fターム (14件)：

2F056MS02 ,  5E028BA03 ,  5E028BB01 ,  5E028BB08 ,  5E028CA02 ,  5E028CA16 ,  5E028DA08 ,  5E028JC02 ,  5E028JC06 ,  5E034BA04 ,  5E034BB08 ,  5E034DA02 ,  5E034DB12 ,  5E034DC01