特許
J-GLOBAL ID:202003014804300079
硬化膜形成用感放射線性樹脂組成物、硬化膜、その形成方法、及び電子デバイス
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山田 強
, 廣田 美穂
, 日野 京子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-013867
公開番号(公開出願番号):特開2016-194671
特許番号:特許第6750233号
出願日: 2016年01月27日
公開日(公表日): 2016年11月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】 電子デバイスの層間絶縁膜、平坦化膜、発光層を形成するための領域を規定するバンク、スペーサー、保護膜及びカラーフィルター用着色パターンのうち少なくともいずれかの硬化膜を形成するための硬化膜形成用感放射線性樹脂組成物であって、
[A]下記式(1)及び式(2)で表される構造単位から選ばれる少なくとも一方の第1構造単位、並びに第2構造単位とを有する重合体成分、
[B]感放射線性化合物を含有し、
さらに、(A)重合体成分が、第1構造単位及び第2構造単位以外の構造単位として、酸解離性基を含む第3構造単位を有することを特徴とする硬化膜形成用感放射線性樹脂組成物。
(式(1)、(2)中、A1は硫黄原子を示し、A2は水素原子、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数1〜12のアルコキシル基を示し、A3は水素原子またはメチル基を示す。m1は1から3の整数を示し、m2は0から4の整数を示し、m3は0から6の整数を示す。)
IPC (8件):
G03F 7/023 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/033 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, C08L 25/18 ( 200 6.01)
, C08K 5/00 ( 200 6.01)
, C08G 59/32 ( 200 6.01)
FI (8件):
G03F 7/023
, G03F 7/039 601
, G03F 7/033
, G03F 7/20 501
, G03F 7/004 503 A
, C08L 25/18
, C08K 5/00
, C08G 59/32
引用特許:
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