特許
J-GLOBAL ID：202003015469274218
3次元磁界検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-106637
公開番号（公開出願番号）：特開2020-160081
出願日： 2020年06月20日
公開日（公表日）： 2020年10月01日
要約：
【課題】X軸Y軸Z軸の3つの磁界検出素子の機能を集積回路チップ上に実現して、0.35mm以下の厚さの超高感度3次元磁界検出素子からなる3次元磁界検出装置を提供する。【解決手段】集積回路チップ上に、集積回路チップの原点を中心として点対称にX軸方向およびY軸方向に各々2つの磁界検出素子を配置し、磁界検出素子配置面と平行に、磁界検出素子配置面の下部に下部軟磁性体プレート、4つの磁界検出素子の上部に4つの上部軟磁性体プレートを配置し、原点位置において下部軟磁性体プレートと4つの磁界検出素子の磁性ワイヤとを磁気的に接続して、原点と反対側の端部で4つの磁界検出素子の感磁体と4つの上部軟磁性体プレートとを磁気的に接続して、Z軸方向磁界を上部と下部の軟磁性体プレートの一方で効果的に集磁して、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向の3つの方向の磁界成分を測定し、原点位置における磁界ベクトルを検出するものである。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
集積回路チップと、
前記集積回路チップの上面に絶縁材料を介して、前記集積回路チップの原点を中心とする点対称の位置に、X軸方向の磁界方向に形成された2つの上部軟磁性体プレートとY軸方向の磁界方向に形成された2つの上部軟磁性体プレートとからなる4つの上部軟磁性プレートと、
前記上部軟磁性体プレートの上部に4つの前記上部軟磁性体プレートに対応して配置された前記X軸方向の磁界を検出するための2つの磁界検出素子と前記Y軸方向の磁界を検出するための他の2つの磁界検出素子とからなる4つの磁界検出素子と、
4つの前記磁界検出素子が配置されている面(磁界検出素子配置面という。)の上部に形成された1つの下部軟磁性体プレートと、
4つの前記上部軟磁性体プレートの原点とは反対側の端部と4つの前記磁界検出素子の感磁体の端部とを磁気的に接続する上部軟磁性体と、
4つの前記磁界検出素子の4つの前記感磁体の他方の端部と前記下部軟磁性体プレートの中心部とを磁気的に接続する下部軟磁性体とを備えることにより、
前記下部軟磁性体プレートと前記下部軟磁性体と前記磁界検出素子の前記感磁体と前記上部軟磁性体と前記上部軟磁性体プレートとからなる磁気回路を形成し、
前記集積回路チップと前記磁界検出素子とを接合する配線とからなることを特徴とする3次元磁界検出装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01R33/02 V
, G01R33/02 L
2G017AA03
, 2G017AC07
, 2G017AD63
, 2G017AD69
