特許

J-GLOBAL ID：202003015654153630

保持装置の製造方法

発明者： 齊藤 翔太
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人アルファ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-152506
公開番号（公開出願番号）：特開2018-022759
特許番号：特許第6730876号
出願日： 2016年08月03日
公開日（公表日）： 2018年02月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第1の表面を有する板状のセラミックス板と、前記セラミックス板に設けられた抵抗発熱体と、を備え、前記セラミックス板の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、 前記抵抗発熱体の形成材料である感光性メタライズペーストを用いてスクリーン印刷を行うことにより、所定の部材上に前記感光性メタライズペーストの暫定パターン部を形成する印刷工程と、 形成された前記暫定パターン部の寸法に関する情報である寸法情報を取得する情報取得工程と、 前記寸法情報に基づき設定された露光形態で前記暫定パターン部を露光して現像を行うことにより、前記暫定パターン部の少なくとも一部分を除去して前記感光性メタライズペーストの本パターン部を形成する除去工程と、 前記本パターン部を焼成することにより、前記抵抗発熱体を形成する焼成工程と、 を備えることを特徴とする、保持装置の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H05B 3/74 ( 200 6.01) ,  H05B 3/20 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/68 N ,  H05B 3/74 ,  H01L 21/68 R ,  H05B 3/20 356