特許
J-GLOBAL ID:202003015657273466
希釈液製造装置および希釈液製造方法
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
宮崎 昭夫
, 緒方 雅昭
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-254940
公開番号(公開出願番号):特開2018-103148
特許番号:特許第6738726号
出願日: 2016年12月28日
公開日(公表日): 2018年07月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 第1の液体に対して第2の液体を添加することで該第2の液体の希釈液を製造し、ユースポイントに前記希釈液を供給する希釈液製造装置であって、
前記第1の液体を供給する第1の配管と、
前記第2の液体を貯留するタンクと、
前記タンクと前記第1の配管とを接続する第2の配管と、
前記タンク内の圧力を調整する圧力調整部であって、前記タンク内の前記第2の液体を前記第2の配管を通じて圧送して前記第1の配管に供給する圧力調整部と、
前記第1の配管内を流れる前記第1の液体または前記希釈液の流量と前記希釈液の濃度との測定値に基づいて、前記希釈液の濃度が所定の濃度になるように、前記圧力調整部による前記第1の液体への前記第2の液体の添加量を調整する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記第1の配管への前記第1の液体の供給が停止されて前記希釈液の製造が停止される際に、前記タンク内の圧力が大気圧を上回る圧力に保持されるように該タンク内の圧力を調整する、希釈液製造装置。
IPC (5件):
B01F 15/04 ( 200 6.01)
, B01F 3/08 ( 200 6.01)
, B01J 4/00 ( 200 6.01)
, B01F 1/00 ( 200 6.01)
, B01F 5/00 ( 200 6.01)
FI (5件):
B01F 15/04 D
, B01F 3/08 Z
, B01J 4/00 103
, B01F 1/00 Z
, B01F 5/00 D
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