搬送装置及び搬送システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：大塚康徳 , 大塚康弘 , 高柳司郎 , 木村秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-145395
公開番号（公開出願番号）：特開2020-021853
出願日： 2018年08月01日
公開日（公表日）： 2020年02月06日
要約：

【課題】非接触式のコインスタック容器におけるアンパッキング/パッキングの効率化を図ること。【解決手段】本発明の搬送装置は、枠状のスペーサ及び該スペーサに載置された基板の積層体が収容される容器の容器本体部が載置される第一の載置部と、前記スペーサが載置される第二の載置部と、一つの前記スペーサを保持する第一の保持手段と、積層された複数の前記スペーサを一括して保持する第二の保持手段と、前記第一の保持手段及び前記第二の保持手段を、それぞれ、前記第一の載置部と前記第二の載置部との間で移動させる移動手段と、を備える。【選択図】図22

請求項（抜粋）：

枠状のスペーサ及び該スペーサに載置された基板の積層体が収容される容器の容器本体部が載置される第一の載置部と、前記スペーサが載置される第二の載置部と、一つの前記スペーサを保持する第一の保持手段と、積層された複数の前記スペーサを一括して保持する第二の保持手段と、前記第一の保持手段及び前記第二の保持手段を、それぞれ、前記第一の載置部と前記第二の載置部との間で移動させる移動手段と、を備える、ことを特徴とする搬送装置。

IPC (6件)：

H01L 21/677 , H01L 21/673 , B65G 49/07 , B25J 9/04 , B25J 15/08 , B25J 15/06

FI (6件)：

H01L21/68 A , H01L21/68 T , B65G49/07 C , B25J9/04 B , B25J15/08 M , B25J15/06 M

Fターム (38件)：

3C707AS03 , 3C707AS24 , 3C707BS06 , 3C707BS26 , 3C707DS01 , 3C707DS02 , 3C707ES04 , 3C707ET08 , 3C707ET10 , 3C707EU17 , 3C707EU18 , 3C707EV05 , 3C707FS01 , 3C707HS14 , 3C707NS05 , 3C707NS13 , 5F131AA02 , 5F131CA32 , 5F131DA05 , 5F131DA20 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131DA62 , 5F131DB02 , 5F131DB12 , 5F131DB22 , 5F131DB52 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131GA13 , 5F131GA14 , 5F131GA87 , 5F131GA88 , 5F131GA99 , 5F131KA12 , 5F131KA17 , 5F131KB12

引用特許：

審査官引用 (6件)

ウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-332096 出願人：コマツエンジニアリング株式会社
基板を輸送し、貯蔵しかつ移送するための装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-513735 出願人：アルカテル-ルーセント
特開平3-211121

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