特許
J-GLOBAL ID:202003016050227470
自己混合干渉粒子検出中の偽陽性信号を抑制する方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 有古特許事務所
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2020-512907
公開番号(公開出願番号):特表2020-519905
出願日: 2018年05月07日
公開日(公表日): 2020年07月02日
要約:
本発明は、流体中の20μm未満、好ましくは10μm未満のサイズの粒子(10)の粒子密度を測定する方法に関し、本方法は、 レーザービーム(112)をミラー(160)に放射するステップと、 所定の周期的な動きのミラー(160)によりレーザービーム(112)を動的に方向転換するステップと、 光学撮像デバイス(171)によりレーザービーム(112)を検出体積に画像化するステップと、 自己混合干渉信号が少なくとも1つの粒子(10)により反射されたレーザービーム(112)のレーザー光により発生する場合にレーザーのレーザーキャビティ内の光波の自己混合干渉信号の測定を可能にするステップと、 自己混合干渉信号がレーザービーム(112)の光路中の外乱に起因する場合に偽自己混合干渉信号を抑制するステップとを含む。 本発明はさらに、レーザーセンサーモジュール(100)、粒子検出器(200)、およびこのようなレーザーセンサーモジュール(100)を備えるデバイス(190)に関する。 本発明は最後に、対応するコンピュータプログラム製品に関する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
流体中の20μm未満、好ましくは10μm未満のサイズの粒子(10)の粒子密度を測定する方法であって、
レーザービーム(112)をミラー(160)に放射するステップと、
所定の周期的な動きの前記ミラー(160)により前記レーザービーム(112)を方向転換するステップと、
光学撮像デバイス(171)により前記レーザービーム(112)を検出体積に集束させるステップと、
自己混合干渉信号が、少なくとも1つの粒子(10)により反射された前記レーザービーム(112)のレーザー光により発生する場合に、前記レーザーのレーザーキャビティ内の光波の自己混合干渉信号を測定するステップと、
前記自己混合干渉信号が前記レーザービーム(112)の光路中の外乱に起因する場合に、粒子検出のための偽の自己混合干渉信号を抑制するステップであって、前記光路中の外乱に起因する前記偽の自己混合干渉信号が、周期的な動きの間に前記ミラー(160)の定義された角度範囲内で抑制されるステップと
を含む方法。
IPC (2件):
FI (3件):
G01N15/06 D
, G01N15/06 C
, G01N15/14 K
引用特許:
審査官引用 (7件)
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空気中の繊維を高精度でカウントする装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-051774
出願人:エムエスピー・コーポレーション
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粒子検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-242791
出願人:リオン株式会社
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粒子検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2015-029997
出願人:アズビル株式会社
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粉塵濃度計測方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-188325
出願人:有限会社エース技研, 大銑産業株式会社
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パーティクルカウンタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2015-045175
出願人:リオン株式会社
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微小粒子分析装置及び微小粒子分析方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2012-208319
出願人:ソニー株式会社
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粒子センサ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2016-086286
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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