特許

J-GLOBAL ID：202003016295220403

周期構造作成装置および周期構造造作成方法

発明者： 二宮 孝文
出願人/特許権者： キヤノンマシナリー株式会社
代理人 (3件)： 城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  前田 礼子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-218230
公開番号（公開出願番号）：特開2020-082118
出願日： 2018年11月21日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：

【課題】設置環境の電磁ノイズの影響や雰囲気温度の変動やデジタル化に伴う量子化誤差にも影響されない、作成形状の正確性に優れた周期構造を有する溝またはディンプルの作成装置および作成方法を提供する。【解決手段】加工対象物を駆動してレーザビームを相対走査する走査手段と偏向器を駆動してレーザビームを絶対走査する走査手段とのいずれかの走査手段と、前記いずれかの走査手段に対して、走査の目標位置を逐次出力する駆動指令部とを備える。駆動指令部がいずれかの走査手段とデジタル回路で接続される。駆動指令部がΔΣ変調器を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

加工対象物に一軸のレーザビームをオーバーラップさせながら照射して、そのレーザ波長程度の間隔の凹凸が方向性を持って形成された周期構造の作成装置であって、 加工対象物を駆動してレーザビームを相対走査する走査手段と偏向器を駆動してレーザビームを絶対走査する走査手段とのいずれかの走査手段と、前記いずれかの走査手段に対して、走査の目標位置を逐次出力する駆動指令部とを備え、前記駆動指令部が前記いずれかの走査手段とデジタル回路で接続され、かつ、前記駆動指令部がΔΣ変調器を備えることを特徴とする周期構造作成装置。

IPC (2件)：

B23K 26/352 ,  B23K 26/082

FI (2件)：

B23K26/352 ,  B23K26/082

Fターム (11件)：

4E168AB01 ,  4E168CB04 ,  4E168DA02 ,  4E168DA24 ,  4E168DA27 ,  4E168DA47 ,  4E168DA60 ,  4E168EA11 ,  4E168EA15 ,  4E168EA16 ,  4E168JA11