レーザ照射装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：稲田弘明 , 渡部温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-058806
公開番号（公開出願番号）：特開2020-157332
出願日： 2019年03月26日
公開日（公表日）： 2020年10月01日
要約：

【課題】光学素子への異物の付着を抑制したレーザ照射装置を提供する。【解決手段】レーザ光Rを所定の焦点において集光させる集光光学系10及び焦点が照射ヘッド本体に対して相対移動するようレーザ光の光軸を偏向させる偏向光学系20を含む光学系と、光学系を構成する複数の光学素子のうち最も照射対象物側に配置される最対物側光学素子30と、最対物側光学素子よりも照射対象物側に突出して形成され、レーザ光が出射される開口を有するノズル70と、ノズルの内部に、主流方向が開口の中央部を指向する気体流を形成する気体流形成部83とを備える構成とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザ光を所定の焦点において集光させる集光光学系及び前記焦点が照射ヘッド本体に対して相対移動するよう前記レーザ光の光軸を偏向させる偏向光学系を含む光学系と、前記光学系を構成する複数の光学素子のうち最も照射対象物側に配置される最対物側光学素子と、前記最対物側光学素子よりも前記照射対象物側に突出して形成され、前記レーザ光が出射される開口を有するノズルと、前記ノズルの内部に、主流方向が前記開口の中央部を指向する気体流を形成する気体流形成部とを備えることを特徴とするレーザ照射装置。

IPC (2件)：

B23K 26/142 , B23K 26/082

FI (2件)：

B23K26/142 , B23K26/082

Fターム (19件)：

4E168AB01 , 4E168AD03 , 4E168AD18 , 4E168BA11 , 4E168CB03 , 4E168CB04 , 4E168CB08 , 4E168DA42 , 4E168EA14 , 4E168EA17 , 4E168EA24 , 4E168FA01 , 4E168FB03 , 4E168FB05 , 4E168JA02 , 4E168JA03 , 4E168JA15 , 4E168JA16 , 4E168JA27

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第7009141号
レーザ加工方法及びレーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-217910 出願人：レーザ・ネット株式会社, 有限会社レイセック.

審査官引用 (2件)

特許第7009141号
レーザ加工方法及びレーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-217910 出願人：レーザ・ネット株式会社, 有限会社レイセック.

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