特許
J-GLOBAL ID：202003017094512526

異物検出装置、露光装置及び物品の製造方法

発明者：
中野 裕己

中野 裕己 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-193518
公開番号（公開出願番号）：特開2020-060521
出願日： 2018年10月12日
公開日（公表日）： 2020年04月16日
要約：
【課題】透明部材上の異物を検出するのに有利な異物検出装置を提供する。【解決手段】透明部材上の異物を検出する異物検出装置であって、前記透明部材に対して斜めに光を照射する照射部と、前記照射部によって前記光が照射された前記透明部材上の異物からの散乱光を検出する受光部と、前記異物を検出する処理を行う処理部と、を有し、前記処理は、前記照射部と前記受光部との相対位置を、前記照射部と前記受光部との間の距離が第1距離となる第1状態とし、前記第1状態において前記受光部で検出される前記散乱光の分布に基づいて前記異物を検出する第1モードと、前記照射部と前記受光部との相対位置を、前記照射部と前記受光部との間の距離が前記第1距離よりも長い第2距離となる第2状態とし、前記第2状態において前記受光部で検出される前記散乱光の分布に基づいて前記異物を検出する第2モードと、を含むことを特徴とする異物検出装置を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透明部材上の異物を検出する異物検出装置であって、 前記透明部材に対して斜めに光を照射する照射部と、 前記照射部によって前記光が照射された前記透明部材上の異物からの散乱光を検出する受光部と、 前記異物を検出する処理を行う処理部と、を有し、 前記処理は、 前記照射部と前記受光部との相対位置を、前記照射部と前記受光部との間の距離が第1距離となる第1状態とし、前記第1状態において前記受光部で検出される前記散乱光の分布に基づいて前記異物を検出する第1モードと、 前記照射部と前記受光部との相対位置を、前記照射部と前記受光部との間の距離が前記第1距離よりも長い第2距離となる第2状態とし、前記第2状態において前記受光部で検出される前記散乱光の分布に基づいて前記異物を検出する第2モードと、 を含むことを特徴とする異物検出装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01N 21/958 ,  G03F 7/20
FI (4件)：
G01N21/956 A ,  G01N21/958 ,  G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521
Fターム (13件)：
2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA06 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2H197AA05 ,  2H197HA03 ,  2H197HA05 ,  2H197HA08 ,  2H197HA10 ,  2H197JA18
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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