X線分光を実施するための方法およびX線吸収分光システム

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-552234
公開番号（公開出願番号）：特表2020-514764
出願日： 2018年03月21日
公開日（公表日）： 2020年05月21日
要約：

X線吸収分光を実施するための方法および小型の実験室X線源と共に使用され、高空間分解能および高スペクトル分解能で対象物内の目的元素のX線吸収を測定するためのX線吸収分光システム。分光システムは、小型高輝度の実験室X線源と、検査される対象物を透過したX線を集光させるための光学レンズ列と、分光計とを備える。分光計は、透過光を空間分解X線検出装置に分散させるための単結晶(および一部の実施形態ではモザイク結晶)解析装置を含む。高輝度/高線量のX線源は、0〜105mradの出射角を有し、光学レンズ列に結合される。光学レンズ列は、高線量X線を収集して500μm未満のスポットに集光させ、高線量密度をもたらす。光学レンズ列のコーティングは、高調波を排除しながら、X線の所定の帯域幅を観察することを可能にする「ローパス」フィルタとして機能する。

請求項（抜粋）：

X線吸収分光を実施するための方法であって、検査される対象物内の目的元素の吸収端に対応するエネルギーよりも0.1%高く且つ前記エネルギーを含むエネルギー帯域幅を有するX線ビームを用いて、所定の試料を照射することと、単結晶分光計を用いて、3eVよりも高いエネルギー分解能で、前記吸収端の近傍で且つ前記吸収端を含むエネルギー帯域幅に亘って、X線吸収端近傍構造(XANES)スペクトルの少なくとも一部を含むX線吸収スペクトルを取得することと、モザイク結晶分光計を用いて、前記単結晶分光計を用いて取得する場合の前記エネルギー分解能よりも低いエネルギー分解能で、前記単結晶分光計の前記X線エネルギー帯域幅よりも広く且つ前記吸収端を含むエネルギー帯域幅に亘って、少なくとも拡張X線吸収微細構造(EXAFS)データを含むX線吸収スペクトルを取得することと、前記単結晶分光計によって取得されたスペクトルおよび前記モザイク結晶分光計によって取得されたスペクトルを処理することによって、X線吸収スペクトルを生成することとを含み、前者のスペクトルに対応する前記エネルギー帯域幅における後者のスペクトルは、前者のスペクトルを用いて精密化される、方法。

IPC (2件)：

G21K 1/06 , G01N 23/085

FI (2件)：

G21K1/06 B , G01N23/085

Fターム (20件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001BA13 , 2G001DA01 , 2G001DA09 , 2G001EA09 , 2G188AA27 , 2G188BB02 , 2G188CC01 , 2G188CC22 , 2G188CC23 , 2G188CC28 , 2G188DD04 , 2G188DD05 , 2G188DD09 , 2G188DD20 , 2G188DD47 , 2G188EE12 , 2G188EE36 , 2G188EE37

引用特許：

審査官引用 (3件)

測定装置及び測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-181704 出願人：国立大学法人広島大学
EXAFS測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-290510 出願人：理学電機株式会社
化学状態測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-163877 出願人：住友ゴム工業株式会社

前のページに戻る