特許

J-GLOBAL ID：202003017843572786

光学式角度センサ

発明者： 木村 彰秀
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 折坂 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-136706
公開番号（公開出願番号）：特開2020-012784
出願日： 2018年07月20日
公開日（公表日）： 2020年01月23日
要約：

【課題】光の形状と光の重心とによらずに角度変位の検出ができ、受光手段の大型化を抑制するとともに、補正工程を有さずに高精度な角度変位の検出ができる光学式角度センサの提供。【解決手段】光学式角度センサ1は、光を照射する光源2と、所定の軸にて回動する測定対象Wの角度を算出するための信号を光源2から照射された光から検出する検出手段4と、検出手段4にて検出された信号に基づき演算をする演算手段7と、を備える。検出手段4は、光を透過して光を複数の回折光とする透過型回折格子5と、複数の回折光を受光する受光手段6と、を備える。透過型回折格子5および受光手段6は、測定対象Wの回動に同期して測定対象Wと同軸にて一体に回動し、演算手段7は、受光手段6が受光した信号から測定対象Wの回動による角度の変化量を算出する角度算出部71を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光を照射する光源と、所定の軸にて回動する測定対象の角度を算出するための信号を前記光源から照射された光から検出する検出手段と、前記検出手段にて検出された前記信号に基づき演算をする演算手段と、を備える光学式角度センサであって、 前記検出手段は、 前記光を透過して前記光を複数の回折光とする透過型回折格子と、 前記複数の回折光を受光する受光手段と、を備え、 前記透過型回折格子および前記受光手段は、 前記測定対象の回動に同期して前記測定対象と同軸にて一体に回動し、 前記演算手段は、 前記受光手段が受光した前記信号から前記測定対象の回動による角度の変化量を算出する角度算出部を備えることを特徴とする光学式角度センサ。

IPC (1件)：

G01B 11/26

FI (1件)：

G01B11/26 G

Fターム (12件)：

2F065AA35 ,  2F065BB16 ,  2F065FF48 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ24 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL42