特許
J-GLOBAL ID:202003017904206354

電歪素子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-049578
公開番号(公開出願番号):特開2016-226256
特許番号:特許第6647091号
出願日: 2016年03月14日
公開日(公表日): 2016年12月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】 エラストマーからなる誘電膜と、前記誘電膜の外周縁より内方の少なくとも一方の面に形成され、前記誘電膜の伸縮に追従して伸縮可能な膜電極と、前記誘電膜の少なくとも一方の面の外周縁に配設され、前記誘電膜を伸張状態に保持する枠型フレームとを備える電歪素子の製造方法において、 エラストマーからなる誘電膜を伸張し、前記誘電膜の片面の外周縁に枠型フレームを配置することにより前記誘電膜を伸張状態に保持する工程と、 伸張状態の前記誘電膜の少なくとも片面に、導電性材料を含む導電ペーストをスクリーン印刷することにより、前記膜電極を形成する工程とを備え、 前記膜電極を形成する工程は、前記スクリーン印刷を、前記誘電膜のスクリーン印刷が施される面の反対側の面に、前記スクリーン印刷が施される領域を囲むように第1治具を当接し、第3治具によって、前記枠型フレームを前記誘電膜のスクリーン印刷が施される面より下方に押圧して行うことを特徴とする電歪素子の製造方法。
IPC (5件):
H01L 41/047 ( 200 6.01) ,  H01L 41/193 ( 200 6.01) ,  H01L 41/29 ( 201 3.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H02N 2/04 ( 200 6.01)
FI (5件):
H01L 41/047 ,  H01L 41/193 ,  H01L 41/29 ,  H01L 41/09 ,  H02N 2/04
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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