特許
J-GLOBAL ID:202003017912726251

基準ビーム出射装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人R&C
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-194617
公開番号(公開出願番号):特開2020-063930
出願日: 2018年10月15日
公開日(公表日): 2020年04月23日
要約:
【課題】基準位置を示す基準ビームを出射する基準ビーム出射装置において、基準ビームのスポット径の微細化と、微細なスポット径が維持される範囲の拡大との双方を実現することが可能な技術を実現する。【解決手段】基準ビーム出射装置1は、光軸を基準とする径方向における光の振幅分布がベッセル関数状となるように基準ビームBを生成する基準ビーム生成部10と、基準面に取り付けられる取付面21を有する取付部20と、基準ビーム生成部10と取付部20とを連結する連結部30と、を備える。連結部30は、取付面21の姿勢にかかわらず重力の向きを基準として定まる方向に基準ビームBが出射されるように、又は、取付面21の向きを基準として定まる方向に基準ビームBが出射されるように、基準ビーム生成部10と取付部20とを連結している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基準面に取り付けられた状態で、基準位置を示す光ビームである基準ビームを出射する基準ビーム出射装置であって、 光軸を基準とする径方向における光の振幅分布がベッセル関数状となるように前記基準ビームを生成する基準ビーム生成部と、 前記基準面に取り付けられる取付面を有する取付部と、 前記基準ビーム生成部と前記取付部とを連結する連結部と、を備え、 前記連結部は、前記取付面の姿勢にかかわらず重力の向きを基準として定まる方向に前記基準ビームが出射されるように、又は、前記取付面の向きを基準として定まる方向に前記基準ビームが出射されるように、前記基準ビーム生成部と前記取付部とを連結している、基準ビーム出射装置。
IPC (2件):
G01C 15/02 ,  G01C 15/00
FI (2件):
G01C15/02 ,  G01C15/00 103C
引用特許:
審査官引用 (7件)
全件表示
引用文献:
前のページに戻る