特許

J-GLOBAL ID：202003018039708361

欠陥検出方法

発明者： 片山 晃治 ,  小松崎 章仁
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-160998
公開番号（公開出願番号）：特開2020-034413
出願日： 2018年08月30日
公開日（公表日）： 2020年03月05日
要約：

【課題】 本発明の課題は、光の照射方向及び観察方向により見え隠れすることで検出が困難であった微小欠陥の検出方法を提供することである。【解決手段】対象物体の欠陥検出方法であって、光の照射方向を変えながら前記対象物体を連続して撮影し、撮影した画像の各位置座標における時間変化についてフーリエ変換を行い、得られたデータを元の画像上に再配列して、空間周波数ごとの加工画像を取得し、特定の空間周波数における前記加工画像を基に欠陥の有無を判断する前記方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

対象物体の欠陥検出方法であって、 光の照射方向を変えながら前記対象物体を連続して撮影し、 撮影した画像の各位置座標における輝度情報の時間変化についてフーリエ変換を行い、 得られたデータを元の画像上に再配列して、空間周波数ごとの加工画像を取得し、 特定の空間周波数における前記加工画像を基に欠陥の有無を判断する前記方法。

IPC (1件)：

G01N 21/88

FI (1件)：

G01N21/88 J

Fターム (9件)：

2G051AA90 ,  2G051AC01 ,  2G051BB02 ,  2G051BC07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051EA08 ,  2G051ED11