特許

J-GLOBAL ID：202003018718594715

切削装置

発明者： 中西 優爾
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-096973
公開番号（公開出願番号）：特開2017-202559
特許番号：特許第6657007号
出願日： 2016年05月13日
公開日（公表日）： 2017年11月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被加工物を上面に保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、該切削ブレードに切削液を供給する切削液供給手段を備え該切削ブレードをカバーするブレードカバーと、該チャックテーブルを切削送り方向に移動させる切削送り手段と、を備える切削装置において、 該ブレードカバーには、該切削ブレードの回転に起因して切削屑を含む切削液が飛散する側に配設され、飛散した該切削液を内部に導入させて被加工物加工時にチャックテーブル外周側に落下する長さに形成され下方に向けて排出する排出口を備える長筒形状の切削液排出部材を備え、 該切削送り手段の上部には、該チャックテーブルを上方を開放した側壁で囲繞して該切削液排出部材の該排出口から排出された切削屑を含む切削液を受け止める排水トレイが配設され、 該排水トレイで受け止められた切削液及び切削屑は、該切削送り手段に沿って形成されたドレイン通路へ排出される、ことを特徴とする切削装置。

IPC (4件)：

B24B 55/12 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  B24B 27/06 ( 200 6.01) ,  B23Q 11/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

B24B 55/12 ,  H01L 21/78 F ,  B24B 27/06 M ,  B23Q 11/00 L ,  B23Q 11/00 Q