特許

J-GLOBAL ID：202003018857226283

ホルダユニットおよびスクライブ装置

発明者： 曽山 浩
出願人/特許権者： 三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (2件)： 芝野 正雅 ,  大橋 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-164054
公開番号（公開出願番号）：特開2020-037194
出願日： 2018年08月31日
公開日（公表日）： 2020年03月12日
要約：

【課題】本発明は、スクライビングホイールの姿勢を安定化させ、基板の表面に高品質のスクライブラインを形成することが可能なホルダユニット、およびそのようなホルダユニットを備えるスクライブ装置を提供することを目的とする。【解決手段】外周部に互いに異なる方向に傾斜した2つの傾斜面41a、および2つの傾斜面41aとの間に周方向に沿って設けられる稜線41bを有するスクライビングホイール40で基板15の表面Hにスクライブラインを形成するためホルダユニット30であって、スクライビングホイール40を保持するための一対の保持部51a、51bと、一対の保持部51a、51bの間に形成され、スクライビングホイール40が挿入される保持溝52と、スクライビングホイール40の回転中心軸に対して基板15側に位置する刃先41に当接し、スクライビングホイール40をその厚み方向に規制する規制部材60と、を備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

外周部に互いに異なる方向に傾斜した2つの傾斜面、および前記2つの傾斜面との間に周方向に沿って設けられる稜線からなる刃先を有するスクライビングホイールで基板の表面にスクライブラインを形成するためのホルダユニットであって、 前記スクライビングホイールを保持するための一対の保持部と、 前記一対の保持部の間に形成され、前記スクライビングホイールが挿入される保持溝と、 前記スクライビングホイールの回転中心軸に対して前記基板側に位置する前記刃先に当接し、前記スクライビングホイールをその厚み方向に規制する規制部材と、を備えることを特徴とするホルダユニット。

IPC (3件)：

B28D 5/00 ,  C03B 33/027 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

B28D5/00 Z ,  C03B33/027 ,  H01L21/78 G

Fターム (21件)：

3C069AA03 ,  3C069BA04 ,  3C069BB01 ,  3C069BB02 ,  3C069BB03 ,  3C069CA01 ,  3C069CA02 ,  3C069CA03 ,  3C069CA05 ,  3C069CA06 ,  3C069CA11 ,  3C069EA02 ,  4G015FA02 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02 ,  4G015FC07 ,  5F063AA21 ,  5F063BA42 ,  5F063BA47 ,  5F063BA48 ,  5F063DD34