半導体装置、半導体ウェハ、記憶装置、及び電子機器

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：IB2018054566
公開番号（公開出願番号）：WO2019-003060
出願日： 2018年06月21日
公開日（公表日）： 2019年01月03日
要約：

記憶容量の大きい半導体装置を提供する。第1乃至第4絶縁体と、第1導電体と、第2導電体と、第1半導体と、を有する半導体装置であり、第1半導体は、第1面と、第2面と、を有する。第1導電体の第1側面は、第1半導体の第1面に有し、第1絶縁体の第1側面は、第1導電体の第2側面に有する。第2絶縁体は、第1絶縁体の第2側面及び上面と、第1導電体の上面と、第1半導体の第2面と、を含む領域に有する。第3絶縁体は、第2絶縁体の形成面に有し、第4絶縁体は、第3絶縁体の形成面に有する。第2導電体は、第4絶縁体が形成されている領域のうち、第1半導体の第2面と重畳する領域に有する。第3絶縁体は、電荷を蓄積する機能を有する。第2導電体に電位を与えることによって、第2絶縁体を介して、第1半導体の第2面と第3絶縁体との間にトンネル電流を誘起させる。

請求項（抜粋）：

第1乃至第4絶縁体と、第1導電体と、第2導電体と、第1半導体と、を有する半導体装置であり、前記第1半導体は、第1面と、第2面と、を有し、前記第1絶縁体の第1側面及び第2側面は、前記第1導電体を介して、前記第1半導体の前記第1面と重畳する領域に位置し、前記第1導電体の第1側面は、前記第1半導体の前記第1面に位置し、前記第1絶縁体の第1側面は、前記第1導電体の第2側面に位置し、前記第2絶縁体は、前記第1絶縁体の第2側面と、前記第1絶縁体の上面と、前記第1導電体の上面と、前記第1半導体の前記第2面と、を含む領域に位置し、前記第3絶縁体は、前記第2絶縁体が形成されている領域のうち、前記第1半導体の前記第2面と重畳する領域に位置し、前記第4絶縁体は、前記第3絶縁体の形成面と、前記第2絶縁体を介して前記第1半導体の前記第1面と重畳する領域と、に位置し、前記第2導電体は、前記第4絶縁体が形成されている領域のうち、前記第1半導体の前記第2面と重畳する領域に位置し、前記第3絶縁体は、電荷を蓄積する機能を有し、前記第2導電体に電位を与えることによって、前記第1半導体の前記第2面と前記第3絶縁体との間に、第2絶縁体を介して、トンネル電流を誘起させる半導体装置。

IPC (6件)：

H01L 27/115 , H01L 21/336 , H01L 29/788 , H01L 29/792 , H01L 21/823 , H01L 27/088

FI (6件)：

H01L27/11582 , H01L27/11556 , H01L29/78 371 , H01L27/11573 , H01L27/11526 , H01L27/088 E

Fターム (75件)：

5F048AA01 , 5F048AB01 , 5F048AC01 , 5F048BA01 , 5F048BA14 , 5F048BA15 , 5F048BA16 , 5F048BA19 , 5F048BA20 , 5F048BB02 , 5F048BB06 , 5F048BB08 , 5F048BB09 , 5F048BB11 , 5F048BB12 , 5F048BC03 , 5F048BC18 , 5F048BD06 , 5F048BD07 , 5F048BF02 , 5F048BF04 , 5F048BF06 , 5F048BF07 , 5F048BF12 , 5F048BF15 , 5F048BF16 , 5F048BG13 , 5F048CB01 , 5F048CB03 , 5F048CB04 , 5F083EP22 , 5F083EP33 , 5F083EP34 , 5F083EP76 , 5F083ER03 , 5F083ER14 , 5F083ER23 , 5F083GA02 , 5F083GA10 , 5F083GA25 , 5F083GA27 , 5F083HA02 , 5F083HA06 , 5F083JA04 , 5F083JA05 , 5F083JA19 , 5F083JA35 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA43 , 5F083JA44 , 5F083JA60 , 5F083KA01 , 5F083LA03 , 5F083LA05 , 5F083LA10 , 5F083PR06 , 5F083ZA13 , 5F083ZA21 , 5F101BA02 , 5F101BA45 , 5F101BB02 , 5F101BC01 , 5F101BD16 , 5F101BD22 , 5F101BD30 , 5F101BD34 , 5F101BE02 , 5F101BE05 , 5F101BE07 , 5F101BF05 , 5F101BG01

前のページに戻る