特許

J-GLOBAL ID：202003019220806541

表示装置

発明者： 花田 明紘 ,  渡壁 創 ,  鈴村 功
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンディスプレイ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-137518
公開番号（公開出願番号）：特開2020-017558
出願日： 2018年07月23日
公開日（公表日）： 2020年01月30日
要約：

【課題】同一基板内にLTPS TFTと酸化物半導体 TFTを形成することを可能とする。【解決手段】ポリシリコン半導体102を用いた第1のTFTと酸化物半導体108を用いた第2のTFTが形成された基板100を有する表示装置であって、前記ポリシリコン半導体102を覆って第1のゲート絶縁膜103が形成され、前記第1のゲート絶縁膜103の上に第1のゲート電極104が形成され、前記第1ゲート絶縁膜103の上で前記第1のゲート電極104とは離れた位置に前記酸化物半導体108が形成され、前記酸化物半導体108を覆って第2のゲート絶縁膜110が形成され、前記第2のゲート絶縁膜110の上に第2のゲート電極112が形成され、前記第2のゲート電極112を覆って層間絶縁膜113が形成されていることを特徴とする表示装置。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

ポリシリコン半導体を用いた第1のTFTと酸化物半導体を用いた第2のTFTが形成された基板を有する表示装置であって、 前記ポリシリコン半導体を覆って第1の絶縁膜が形成され、前記第1の絶縁膜の上に第1のゲート電極が形成され、 前記第1の絶縁膜の上で前記第1のゲート電極と平面視で重ならない位置に前記酸化物半導体が形成され、前記酸化物半導体を覆って第2の絶縁膜が形成され、 前記第1のゲート電極と前記酸化物半導体とは、前記第1の絶縁膜と前記第2の絶縁膜の間にあり、前記第1の絶縁膜に接触しており、 前記第2の絶縁膜の上に第2のゲート電極が形成され、 前記第2のゲート電極を覆って第3の絶縁膜が形成されていることを特徴とする表示装置。

IPC (8件)：

H01L 29/786 ,  H01L 27/088 ,  H01L 21/823 ,  G09F 9/30 ,  G02F 1/136 ,  H01L 51/50 ,  H01L 27/32 ,  H05B 33/02

FI (13件)：

H01L29/78 612B ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 617T ,  H01L29/78 617U ,  H01L29/78 616S ,  H01L27/088 331E ,  H01L27/088 E ,  H01L27/088 D ,  G09F9/30 338 ,  G02F1/1368 ,  H05B33/14 A ,  H01L27/32 ,  H05B33/02

Fターム (97件)：

2H192AA24 ,  2H192BB13 ,  2H192BB73 ,  2H192BC31 ,  2H192CB02 ,  2H192CB03 ,  2H192CB34 ,  2H192CB37 ,  2H192DA72 ,  2H192EA15 ,  2H192EA22 ,  2H192EA43 ,  2H192EA67 ,  2H192EA72 ,  2H192EA76 ,  2H192FA73 ,  2H192FB03 ,  2H192HA47 ,  2H192HA62 ,  2H192HA84 ,  2H192JA33 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC21 ,  3K107CC41 ,  3K107DD90 ,  3K107EE04 ,  3K107EE57 ,  5C094AA31 ,  5C094AA53 ,  5C094AA54 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094FA02 ,  5C094FA04 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5F048AB10 ,  5F048AC01 ,  5F048BA14 ,  5F048BA16 ,  5F048BA19 ,  5F048BA20 ,  5F048BB09 ,  5F048BC18 ,  5F048BF07 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048CB01 ,  5F110AA01 ,  5F110AA06 ,  5F110AA26 ,  5F110BB02 ,  5F110CC02 ,  5F110CC06 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE15 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF09 ,  5F110FF29 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HK06 ,  5F110HK33 ,  5F110HL14 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN42 ,  5F110NN46 ,  5F110NN47 ,  5F110NN73 ,  5F110NN77 ,  5F110NN78 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ11