特許

J-GLOBAL ID：202003019416561946

保持装置

発明者： 鈴木 淳 ,  長谷川 政美 ,  鈴木 哲夫 ,  出口 洋行
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人アルファ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-130340
公開番号（公開出願番号）：特開2020-009932
出願日： 2018年07月10日
公開日（公表日）： 2020年01月16日
要約：

【課題】板状部材の第1の表面における温度分布を制御する。【解決手段】保持装置は、第1の方向に略垂直な略平面状の第1の表面を有する板状部材と、板状部材の表面側に設けられた複数の外部端子と、板状部材の内部に配置され、複数の外部端子の内の少なくとも一対の外部端子に電気的に接続されているヒータ電極と、を備え、板状部材の第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、板状部材は、複数の外部端子の内の1つのみに電気的に接続されている、または、複数の外部端子のいずれにも電気的に接続されていないダミービアであって、板状部材の形成材料より熱伝導率の高い材料により形成され、第1の方向において第1の表面とヒータ電極との間に配置され、かつ、第1の方向に略平行な方向に延びているダミービアを備えている。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

第1の方向に略垂直な略平面状の第1の表面を有する板状部材と、 前記板状部材の表面側に設けられた複数の外部端子と、 前記板状部材の内部に配置され、前記複数の外部端子の内の少なくとも一対の外部端子に電気的に接続されているヒータ電極と、 を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、 前記板状部材は、 前記複数の外部端子の内の1つのみに電気的に接続されている、または、前記複数の外部端子のいずれにも電気的に接続されていないダミービアであって、前記板状部材の形成材料より熱伝導率の高い材料により形成され、前記第1の方向において前記第1の表面と前記ヒータ電極との間に配置され、かつ、前記第1の方向に略平行な方向に延びているダミービア を備えている、 ことを特徴とする保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/683 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L21/68 R ,  H01L21/68 N ,  H01L21/205

Fターム (22件)：

5F045BB02 ,  5F045DP02 ,  5F045EJ06 ,  5F045EK07 ,  5F045EK09 ,  5F045EK21 ,  5F045EK22 ,  5F045EM05 ,  5F131AA02 ,  5F131BA04 ,  5F131BA19 ,  5F131CA03 ,  5F131EA03 ,  5F131EA05 ,  5F131EB01 ,  5F131EB11 ,  5F131EB14 ,  5F131EB18 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB84