特許
J-GLOBAL ID：202003019580498163
容器収納設備
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人R&C
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-176984
公開番号（公開出願番号）：特開2018-041926
特許番号：特許第6623988号
出願日： 2016年09月09日
公開日（公表日）： 2018年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 容器を収納する複数の収納部を有し、前記収納部のそれぞれにおいて、収納された前記容器の内部に浄化気体を供給する容器収納設備であって、
複数の前記収納部のそれぞれにおいて、収納されたそれぞれの前記容器に接続されて当該容器に前記浄化気体を吐出する吐出部と、
前記浄化気体の供給流量を制御する気体供給装置と、
前記気体供給装置に接続されて、前記気体供給装置から出力される前記浄化気体が通流する主配管と、
前記主配管から分岐して、それぞれの前記吐出部と接続される分岐配管と、を備え、
前記吐出部は、前記収納部に前記容器が収納されているか否かに拘わらず、前記浄化気体を吐出し、
前記気体供給装置は、複数の前記収納部における前記容器の収納状態の情報を取得し、前記収納部に収納されている前記容器の総数が少ないほど多くなるように、前記浄化気体の前記供給流量を前記収納部に収納されている前記容器の総数に応じて制御する、容器収納設備。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
