特許

J-GLOBAL ID：202003019832775696

吸着機構、切断装置および切断品の製造方法

発明者： 尾関 貴俊 ,  宮田 和志 ,  黄 善夏 ,  石橋 幹司
出願人/特許権者： TOWA株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-200201
公開番号（公開出願番号）：特開2020-068294
出願日： 2018年10月24日
公開日（公表日）： 2020年04月30日
要約：

【課題】吸着ムラを低減することが可能であるとともに、長期間使用することが可能な吸着機構、切断装置および切断品の製造方法を提供する。【解決手段】吸着機構(100)は、チャンバ(34)と、チャンバ(34)内のジグ(33)と、ジグ(33)上の吸着部(31)とを備えている。ジグ(33)はメタルフォームを備える。切断装置(B)は、吸着機構(100)を備える。切断品の製造方法は、切断装置(B)により切断対象物(5)を切断する工程と、切断する工程において切断された切断対象物(5)を吸着機構(100)により吸着して搬送する工程とを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

チャンバと、 前記チャンバ内のジグと、 前記ジグ上の吸着部と、を備え、 前記ジグは、メタルフォームを備える、吸着機構。

IPC (5件)：

H01L 21/301 ,  B28D 7/04 ,  B28D 5/02 ,  B26D 7/20 ,  B23Q 3/08

FI (5件)：

H01L21/78 N ,  B28D7/04 ,  B28D5/02 A ,  B26D7/20 ,  B23Q3/08 A

Fターム (15件)：

3C016DA05 ,  3C021GA03 ,  3C021GA05 ,  3C069AA01 ,  3C069BA04 ,  3C069CA05 ,  3C069CB01 ,  3C069CB03 ,  3C069EA05 ,  5F063AA21 ,  5F063AA36 ,  5F063BA17 ,  5F063FF02 ,  5F063FF04 ,  5F063FF11