特許
J-GLOBAL ID：202003019925002832
荷電粒子ビーム操作装置、荷電粒子ビーム加速装置、及び荷電粒子ビーム操作方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 武和国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-007318
公開番号（公開出願番号）：特開2020-119644
出願日： 2019年01月18日
公開日（公表日）： 2020年08月06日
要約：
【課題】電極への衝突を回避しつつ荷電粒子ビームを適切に操作可能な荷電粒子ビーム操作装置を提供する。【解決手段】荷電粒子ビーム操作装置は、荷電粒子ビームの進行方向に直交する第1方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、進行方向及び第1方向に直交する第2方向に延設された一対の第1電極12,13と、第2方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、各々が一対の第1電極それぞれと電気的に接続された一対の第2電極14,15とを備え、一対の第1電極と12,13、一対の第2電極14,15との間に電位差が付与されることを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを分離或いは結合する荷電粒子ビーム操作装置であって、
荷電粒子ビームの進行方向に直交する第1方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、前記進行方向及び前記第1方向に直交する第2方向に延設された一対の第1電極と、
前記第2方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、各々が前記一対の第1電極それぞれと電気的に接続された一対の第2電極とを備え、
前記一対の第1電極と、前記一対の第2電極との間に電位差が付与されることを特徴とする荷電粒子ビーム操作装置。
IPC (3件)：
H05H 7/10
, H05H 7/08
, G21K 5/04
H05H7/10
, H05H7/08
, G21K5/04 D
2G085AA11
, 2G085AA13
, 2G085BA13
, 2G085BB11
