特許

J-GLOBAL ID：202003020269219658

被膜

発明者： 内海 慶春 ,  アルムスコーグ パール クリストッファー ,  津田 圭一 ,  サラキノス コンスタンティノス ,  ピレイ サンカラ ,  マグンフェルト ダニエル グンナー
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社 ,  ミムシ・マテリアルズ・エービー
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-558625
特許番号：特許第6701384号
出願日： 2016年12月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基材の表面に位置する被膜であって、 前記被膜は、1以上の層を含み、 前記層のうち少なくとも1層は、組成の異なる2以上のドメインと、前記ドメインのそれぞれと組成の異なる薄層とから構成されるドメイン構造層であり、 前記薄層は、任意の一の前記ドメインと、他の任意の一の前記ドメインとの間に位置し、かつこれらと接しており、 2以上の前記ドメインのうちの1つである第1ドメイン、および他の1つである第2ドメインは、Al、B、Si、周期表の第4族元素、第5族元素および第6族元素からなる群より選択される少なくとも1種の元素と、B、O、C、およびNからなる群より選択される少なくとも1種の元素と、からなり、 前記薄層は、B、Siより選択される少なくとも1種の元素と、B、O、C、およびNより選択される少なくとも1種の元素と、からなり、 前記第1ドメインは、前記ドメイン構造層中に複数存在し、 前記ドメイン構造層の面内方向における前記各第1ドメインのサイズを、前記各第1ドメインに接する仮想の外接円の直径とした場合、前記各第1ドメインのサイズの平均値は、1nm以上10nm以下であり、 前記ドメイン構造層の膜厚方向における前記薄層の厚みは、1原子層以上10原子層以下である、被膜。

IPC (5件)：

C23C 14/06 ( 200 6.01) ,  C23C 14/16 ( 200 6.01) ,  B23C 5/16 ( 200 6.01) ,  B23B 51/00 ( 200 6.01) ,  B23B 27/14 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C23C 14/06 L ,  C23C 14/16 B ,  C23C 14/06 A ,  B23C 5/16 ,  B23B 51/00 J ,  B23B 27/14 A