半導体装置及び半導体装置の駆動方法

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出願人/特許権者：
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：IB2018053786
公開番号（公開出願番号）：WO2018-224911
出願日： 2018年05月29日
公開日（公表日）： 2018年12月13日
要約：

単位面積あたりの記憶容量の大きい半導体装置を提供する。メモリセルを有する半導体装置であって、メモリセルは、第1の導電体と、第1の導電体上の第1の絶縁体と、第1の絶縁体上の、第1の領域、第2の領域、および第1の領域と第2の領域との間に配置された第3の領域を有する第1の酸化物と、第1の酸化物上の第2の絶縁体と、第2の絶縁体上の第2の導電体と、第1の領域の側面に接して配置された第3の絶縁体と、第1の領域の側面に、第3の絶縁体を介して配置された第2の酸化物と、を有し、第1の領域は、第1の導電体と重畳する領域を有し、第3の領域は、第2の導電体と重畳する領域を有し、第1の領域および第2の領域は、第3の領域よりも低抵抗である。

請求項（抜粋）：

メモリセルを有する半導体装置であって、前記メモリセルは、第1の導電体と、前記第1の導電体上の第1の絶縁体と、前記第1の絶縁体上の、第1の領域、第2の領域、および前記第1の領域と前記第2の領域との間に配置された第3の領域を有する第1の酸化物と、前記第1の酸化物上の第2の絶縁体と、前記第2の絶縁体上の第2の導電体と、前記第1の領域の側面に接して配置された第3の絶縁体と、前記第1の領域の側面に、前記第3の絶縁体を介して配置された第2の酸化物と、を有し、前記第1の領域は、前記第1の導電体と重畳する領域を有し、前記第3の領域は、前記第2の導電体と重畳する領域を有し、前記第1の領域、および前記第2の領域は、前記第3の領域よりも低抵抗であることを特徴とする半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 21/824 , H01L 27/108 , H01L 21/823 , H01L 27/06 , H01L 27/088 , H01L 27/115 , H01L 29/786

FI (9件)：

H01L27/108 321 , H01L27/06 102A , H01L27/088 E , H01L27/1156 , H01L27/088 A , H01L27/088 331E , H01L29/78 613B , H01L29/78 618B , H01L29/78 626A

Fターム (155件)：

5F048AA01 , 5F048AA07 , 5F048AB01 , 5F048AC01 , 5F048AC10 , 5F048BA01 , 5F048BA14 , 5F048BA15 , 5F048BA16 , 5F048BA19 , 5F048BA20 , 5F048BB01 , 5F048BB02 , 5F048BB03 , 5F048BB09 , 5F048BB10 , 5F048BB14 , 5F048BC03 , 5F048BC18 , 5F048BD01 , 5F048BD06 , 5F048BD07 , 5F048BD10 , 5F048BF02 , 5F048BF04 , 5F048BF06 , 5F048BF07 , 5F048BF15 , 5F048BF16 , 5F048CB02 , 5F048CB03 , 5F048CB04 , 5F048DA24 , 5F083AD02 , 5F083AD06 , 5F083AD21 , 5F083AD69 , 5F083EP02 , 5F083ER23 , 5F083GA01 , 5F083GA03 , 5F083GA06 , 5F083GA10 , 5F083GA25 , 5F083HA02 , 5F083HA06 , 5F083JA02 , 5F083JA03 , 5F083JA05 , 5F083JA35 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA43 , 5F083JA44 , 5F083JA56 , 5F083JA58 , 5F083JA60 , 5F083KA01 , 5F083KA05 , 5F083KA11 , 5F083LA12 , 5F083LA16 , 5F083LA18 , 5F083LA20 , 5F083PR05 , 5F083PR06 , 5F083PR33 , 5F083ZA21 , 5F110AA02 , 5F110AA04 , 5F110AA06 , 5F110AA07 , 5F110BB05 , 5F110BB06 , 5F110BB11 , 5F110CC01 , 5F110CC09 , 5F110CC10 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD05 , 5F110DD06 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE05 , 5F110EE09 , 5F110EE22 , 5F110EE24 , 5F110EE30 , 5F110EE42 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG04 , 5F110GG07 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG16 , 5F110GG17 , 5F110GG22 , 5F110GG23 , 5F110GG32 , 5F110GG33 , 5F110GG35 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110GG45 , 5F110GG48 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK05 , 5F110HK09 , 5F110HK21 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110HK35 , 5F110HM02 , 5F110HM04 , 5F110HM13 , 5F110NN02 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110NN74 , 5F110NN77 , 5F110NN78 , 5F110QQ04 , 5F110QQ05 , 5F110QQ19

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