特許
J-GLOBAL ID：202003020843636564

切削装置

発明者：
田中 誠

田中 誠 について

, 
粕谷 健太

粕谷 健太 について

, 
山村 英司

山村 英司 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 松本 昂 ,  岡本 知広 ,  笠原 崇廣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-195896
公開番号（公開出願番号）：特開2018-060864
特許番号：特許第6732381号
出願日： 2016年10月03日
公開日（公表日）： 2018年04月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物を保持する第1のチャックテーブルと、第1の切削ブレードを装着可能で該第1のチャックテーブルに保持された被加工物を該第1の切削ブレードで加工する第1の切削ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像カメラと、各構成要素を制御する制御ユニットと、該第1の切削ブレードをドレッシングする識別マークが付された第1のドレッシングボードを保持する第1のドレッシングボード用チャックテーブルと、を有し、 該制御ユニットは、指定部と、識別部と、判定部と、出力部と、を有し、 該指定部は、ドレッシングボードの種類を指定する機能を有し、 該識別部は、該第1のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第1のドレッシングボードの該識別マークを該撮像カメラで撮像して得られた撮像画像から、該第1のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第1のドレッシングボードの種類を識別する機能を有し、 該判定部は、該識別部により識別された該第1のドレッシングボードの種類が、該指定部により指定されたドレッシングボードの種類と一致するか否かを判定する機能を有し、 該出力部は、該判定部の判定結果を出力する機能を有することを特徴とする切削装置。
IPC (3件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  B24B 53/00 ( 200 6.01) ,  B24B 27/06 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/78 F ,  B24B 53/00 K ,  B24B 27/06 M
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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