特許

J-GLOBAL ID：202003021116866588

ファンスクラバおよびファンスクラバの制御方法

発明者： 辻口 裕貴
出願人/特許権者： キオクシア株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-155639
公開番号（公開出願番号）：特開2020-028851
出願日： 2018年08月22日
公開日（公表日）： 2020年02月27日
要約：

【課題】入口配管の腐食を抑制することができるファンスクラバを提供する。【解決手段】実施形態によれば、前段に成膜装置が設置された真空ポンプの後段側に接続される入口配管と、前記入口配管に接続され、モータの主軸に接続されるファンを格納する処理室と、前記入口配管を加熱するヒータと、前記ヒータのオン/オフを制御する制御部と、を備えるファンスクラバが提供される。前記制御部は、前記成膜装置から受信する信号が成膜信号からクリーニング信号に切り替わった時に、前記ヒータをオフにする。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

前段に成膜装置が設置された真空ポンプの後段側に接続される入口配管と、 前記入口配管に接続され、モータの主軸に接続されるファンを格納する処理室と、 前記入口配管を加熱するヒータと、 前記ヒータのオン/オフを制御する制御部と、 を備え、 前記制御部は、前記成膜装置から受信する信号が成膜信号からクリーニング信号に切り替わった時に、前記ヒータをオフにするファンスクラバ。

IPC (1件)：

B01D 47/06

FI (1件)：

B01D47/06 B

Fターム (5件)：

4D032AC08 ,  4D032AC09 ,  4D032AC35 ,  4D032CA01 ,  4D032CA10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 排気系システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-161552   出願人：株式会社荏原製作所
• 排ガスの処理方法及び処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-351193   出願人：株式会社荏原製作所