研究者
J-GLOBAL ID：202101005314638617   更新日: 2024年02月01日

濱野 誉

ハマノ タカシ | Hamano Takashi
所属機関・部署：
京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻

京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 について


競争的資金等の研究課題 (1件)：
  • 2020 - 2023 確率過程論に基づくプラズマ-材料原子スケール相互作用の解明と材料特性制御への展開
論文 (4件)：
  • Takashi Hamano, Takayuki Matsuda, Yuya Asamoto, Masao Noma, Shigehiko Hasegawa, Michiru Yamashita, Keiichiro Urabe, Koji Eriguchi. Spectroscopic ellipsometry characterization of boron nitride films synthesized by a reactive plasma-assisted coating method. Applied Physics Letters. 2022. 120. 3. 031904-031904
  • Koji Eriguchi, Takashi Hamano, Keiichiro Urabe. Improvement of the plasma-induced defect generation model in Si substrates and the optimization design framework. Plasma Processes and Polymers. 2019. 16. 9. 1900058-1900058
  • Takashi Hamano, Keiichiro Urabe, Koji Eriguchi. Investigation of spatial and energy profiles of plasma process-induced latent defects in Si substrate using capacitance-voltage characteristics. Journal of Physics D: Applied Physics. 2019
  • Takashi Hamano, Koji Eriguchi. Incident ion dose evolution of damaged layer thickness in Si substrate exposed to Ar and He plasmas. Japanese Journal of Applied Physics. 2018. 57. 6S2. 06JD02-06JD02
MISC (3件)：
  • T. Matsuda, T. Hamano, Y. Asamoto, M. Noma, M. Yamashita, S. Hasegawa, K. Urabe, K. Eriguchi. Ion irradiation-induced sputtering and surface modification of BN films prepared by a reactive plasma-assisted coating technique. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SI
  • 松田崇行, 濱野誉, 朝本雄也, 野間正男, 山下満, 長谷川繁彦, 占部継一郎, 江利口浩二. イオンフラックス制御型反応性プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜構造制御に関する研究. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2021. 82nd
  • 朝本雄也, 松田崇行, 濱野誉, 野間正男, 長谷川繁彦, 山下満, 占部継一郎, 江利口浩二. 熱電子供給型真空アーク放電の放電電流決定機構に基づくプロセス制御. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2021. 82nd
講演・口頭発表等 (3件)：
  • 電気容量解析に基づくSi基板内のプラズマプロセス誘起欠陥のギャップ内準位分布予測
    (第68回応用物理学会春季学術講演会 2021)
  • Effects of Variability in Plasma-Induced Damage to Si Substrate on Device Performance and Its Application to Variability Assessment Methodology
    (第20回 関西コロキアム電子デバイスワークショップ 2020)
  • 過渡的プラズマダメージ形成過程を考慮したプロセスデザインの検討
    (応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第215回研究集会 2019)
学歴 (3件)：
  • 2020 - 現在 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻
  • 2018 - 2020 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻
  • 2014 - 2018 京都大学 工学部 物理工学科
経歴 (1件)：
  • 2020/04 - 現在 日本学術振興会 特別研究員DC1
受賞 (7件)：
  • 2022/07 - 京都大学 吉田研究奨励賞
  • 2021/11 - DPS2019 Young Researcher Award
  • 2021/03 - シリコンテクノロジー分科会 研究奨励賞
  • 2021/03 - 応用物理学会関西支部 関西奨励賞
  • 2021/01 - 応用物理学会関西支部 ポスター賞(最優秀賞)
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所属学会 (1件)：
応用物理学会
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