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J-GLOBAL ID：202102211099094999   整理番号：21A0133481

マグネトロンスパッタリングにより蒸着したAl-B-Si-C被覆の構造と特性【JST・京大機械翻訳】

Structure and Properties of the Al-B-Si-C Coatings Deposited by Magnetron Sputtering

著者 (8件)： Kozak A. O. (Frantsevich Institute of Materials Science Problems, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine) ,  Ivashchenko V. I. (Frantsevich Institute of Materials Science Problems, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine) ,  Scrynskyy P. L. (Frantsevich Institute of Materials Science Problems, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine) ,  Muratov V. B. (Frantsevich Institute of Materials Science Problems, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine) ,  Tetyorkin V. V. (Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine) ,  Sukach A. V. (Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine) ,  Sinelnichenko O. K. (Frantsevich Institute of Materials Science Problems, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine) ,  Olifan O. I. (Frantsevich Institute of Materials Science Problems, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine)
資料名： Journal of Superhard Materials  (Journal of Superhard Materials)
巻： 42  号： 5  ページ： 311-322  発行年： 2020年 
JST資料番号： W4668A  ISSN： 1063-4576  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlB_2,SiC,およびグラファイトターゲットの二重マグネトロンスパッタリングにより得られたAl-B,Al-B-C,およびAl-B-Si-C皮膜の構造,機械,および電気物理特性を研究した。堆積中,AlB_2含有ターゲット(I_AlB)に適用した電流を主な変数パラメータとして用いた。堆積被膜をX線回折,赤外分光法(FTIR),X線光電子分光法(XPS),Knoop微小硬さ試験,および電流-電圧特性測定によって特性化した。すべての堆積被覆はX線非晶質材料であった。FTIRとXPSの結果は,B-B,Al-B,B-O,およびAl-O結合がすべての堆積被覆で主な結合であることを示した。AlB_2とC,およびAlB_2とSiCによるターゲットの二重スパッタリングは,蒸着被覆における付加的B-C,Si-C,およびC-C主結合の形成をもたらした。被覆は,B-BとAl-B結合数の増加の結果として,I_AlB電流の増加とともに強化されることが分かった。Al-BとAl-B-C被覆の電流-電圧特性は,被覆が,ホッピング伝導機構が作動する無秩序半導体であることを示した。Copyright Allerton Press, Inc. 2020. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  化学結合 ,  硬さ試験 ,  電流 ,  半導体 ,  *被覆 ,  電流電圧特性 ,  グラファイト ,  炭化ケイ素 ,  皮膜 ,  ホッピング伝導 ,  X線光電子分光法 ,  赤外分光法 ,  FTIR分光法
準シソーラス用語： 非晶質材料 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Al-B-Si-C被覆 ,  マグネトロンスパッタリング ,  硬さ ,  化学結合 ,  XRD ,  電流-電圧特性

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (5件)： マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  Al ,  Si ,  C被覆