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J-GLOBAL ID：202102211679618806   整理番号：21A2527058

非反射テラヘルツ特性フィッティングに基づく高感度で汎用的な厚み決定法【JST・京大機械翻訳】

A Sensitive and Versatile Thickness Determination Method Based on Non-Inflection Terahertz Property Fitting

著者 (3件)： Chen Xuequan (Department of Electronic Engineering, The Chinese University of Hong Kong, Hong Kong 999077, China) ,  Pickwell-MacPherson Emma (Department of Electronic Engineering, The Chinese University of Hong Kong, Hong Kong 999077, China) ,  Pickwell-MacPherson Emma (Physics Department, Warwick University, Coventry CV4 7AL, UK)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 19  号： 19  ページ： 4118  発行年： 2019年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テラヘルツ分光法における薄膜キャラクタリゼーションの精度は,主に厚さの不確実性によって設定される。物理的厚さ測定は数百μmより薄い薄膜試料の精度が限られ,時には不可能であった。時間領域テラヘルツ分光計の時間分解能は,このような薄膜を解くのに十分でない。以前報告された数値法は,主に低い分散と吸収を持つ材料に対してのみ作用している。ここでは,材料光学特性に非偏向オフセット指数関数を当てはめることによって,厚さ決定のための新しい方法を提案した。理論解析は,正しい厚さを与えるときのみ達成される最良のフィッティングを予測する。薄膜高分子,水,およびラクトースパレットの透過測定は,理論を検証し,無色または分散,透明または吸収,特徴無しまたは共鳴のいずれかである材料に関する正確な厚さ決定および特性化を示した。測定は最先端技術と比較して最良の汎用性と感度を示した。この方法は,様々なタイプの研究および工業的応用に広く適応できた。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 厚み測定 ,  光学的性質 ,  薄膜 ,  不確実性 ,  指数関数 ,  偏向 ,  高分子膜 ,  キャラクタリゼーション ,  高感度 ,  無色 ,  *テラヘルツ波 ,  ヘキソース ,  アルドース ,  ガラクトシド ,  二糖類 ,  ピラノシド
準シソーラス用語： 理論解析 ,  テラヘルツ分光法 ,  時間領域 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜特性評価 ,  厚さの不確実性 ,  屈曲点 ,  指数関数 ,  フィッティング

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

物質索引 (1件)： ラクトース

引用文献 (26件)：

• Fujiwara, H. Spectroscopic Ellipsometry Principles and Applications; John Wiley & Sons: Chichester, UK, 2007; ISBN 9780470016084.
• Dorney, T.D.; Baraniuk, R.G.; Mittleman, D.M. Material parameter estimation with terahertz time-domain spectroscopy. Opt. Soc. Am. 2001, 18, 1562-1571.
• Withayachumnankul, W.; Fischer, B.M.; Lin, H.; Abbott, D. Uncertainty in terahertz time-domain spectroscopy measurement. J. Opt. Soc. Am. B 2008, 25, 1059.
• Kindt, J.T.; Schmuttenmaer, C.A. Far-Infrared Dielectric Properties of Polar Liquids Probed by Femtosecond Terahertz Pulse Spectroscopy. J. Phys. Chem. 1996, 100, 10373-10379.
• Grischkowsky, D.; Keiding, S.; van Exter, M.; Fattinger, C. Far-infrared time-domain spectroscopy with terahertz beams of dielectrics and semiconductors. J. Opt. Soc. Am. B 1990, 7, 2006-2015.

タイトルに関連する用語 (5件)： テラヘルツ ,  フィッティング ,  高感度 ,  汎用 ,  厚み