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J-GLOBAL ID：202102212249007976   整理番号：21A2525424

センサ応用のためのリボンベースパターン形成ソフト強磁性蛇行形状素子における磁気インピーダンス効果【JST・京大機械翻訳】

Magnetoimpedance Effect in the Ribbon-Based Patterned Soft Ferromagnetic Meander-Shaped Elements for Sensor Application

著者 (11件)： Yang Zhen (Department of Magnetism and Magnetic Nanomaterials, Ural Federal University, 620002 Ekaterinburg, Russia) ,  Yang Zhen (School of Physics and Electronic Engineering, Xinyang Normal University, Xinyang 464000, China) ,  Chlenova Anna A. (Department of Magnetism and Magnetic Nanomaterials, Ural Federal University, 620002 Ekaterinburg, Russia) ,  Chlenova Anna A. (Institute of Metal Physics UD RAS, 620016 Ekaterinburg, Russia) ,  Golubeva Elizaveta V. (Department of Magnetism and Magnetic Nanomaterials, Ural Federal University, 620002 Ekaterinburg, Russia) ,  Volchkov Stanislav O. (Department of Magnetism and Magnetic Nanomaterials, Ural Federal University, 620002 Ekaterinburg, Russia) ,  Guo Pengfei (School of Physics and Electronic Engineering, Xinyang Normal University, Xinyang 464000, China) ,  Shcherbinin Sergei V. (Department of Magnetism and Magnetic Nanomaterials, Ural Federal University, 620002 Ekaterinburg, Russia) ,  Shcherbinin Sergei V. (Institute of Electrophysics UD RAS, 620016 Ekaterinburg, Russia) ,  Kurlyandskaya Galina V. (Department of Magnetism and Magnetic Nanomaterials, Ural Federal University, 620002 Ekaterinburg, Russia) ,  Kurlyandskaya Galina V. (University of the Basque Country UPV-EHU, 48940 Leioa, Spain)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 19  号： 11  ページ： 2468  発行年： 2019年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質およびナノ結晶軟磁性材料はセンサ応用の分野で多くの注目を集めている。本研究では,パターン化ソフト強磁性蛇行型センサ要素の磁気インピーダンス(MI)効果を調べた。リソグラフィー技術と化学エッチングを用いてコバルト系非晶質リボンから出発した。3-ターン(S1:間隔s=50m,幅w=300m,長さl=5mm,S2:間隔s=50m,幅w=400m,長さl=5mm)および6ターン(S3:s=40m,w=250m,長さl=5mm;S4:40m,w=250mおよびl=8mm)蛇行を設計した。n型蛇行部は,1つのターンとして命名された。S4蛇行は,全インピーダンスΔZ/Z250%に対して計算された最大MI比を持ち,感度は約36%/Oe(周波数約45MHz)であり,全インピーダンスΔR/R250%の実数部に対して計算されたMI比は,約32%/Oe(周波数50MHz)の感度で計算された。試料の化学エッチングと長さは,表面磁気特性と磁気インピーダンスに強い影響を及ぼした。磁気光学Kerr技術とMIデータによって得られた表面磁気特性の比較解析は,設計した強磁性蛇行形状センサ素子が,大きな液滴分析に焦点を当てた高周波センサ応用に対して推奨できることを示した。ここでは,マイクロシリンジ(体積範囲0.5500L)または自動ディスペンサ(体積範囲0.150mL)のいずれかによってMIセンサ要素の表面上に配置する水ベースサンプルとして単一大滴を理解した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *インピーダンス ,  液滴 ,  *強磁性 ,  コバルト ,  *蛇行 ,  HF【周波数】 ,  非晶質 ,  リソグラフィー ,  軟磁性材料 ,  *パターン形成 ,  非晶質リボン ,  ナノ結晶 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： *磁気インピーダンス ,  *磁気インピーダンス効果 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 磁気インピーダンス効果 ,  非晶質リボン ,  パターン形成リボン ,  蛇行感受性要素 ,  磁界センサ

分類 (1件)： 磁気の計測法・機器  (AD07060U)

引用文献 (34件)：

• Landau, L.D.; Lifshitz, E.M. Course of theoretical physics. In Electrodynamics of Continuous Media; Elsevier Science: Amsterdam, The Netherlands, 2013; Volume 8.
• Beach, R.; Berkowitz, A. Sensitive field-and frequency-dependent impedance spectra of amorphous FeCoSiB wire and ribbon. J. Appl. Phys. 1994, 76, 6209-6213.
• Panina, L.V.; Mohri, K.; Bushida, K.; Noda, M. Giant magneto-impedance and magneto-inductive effects in amorphous alloys. J. Appl. Phys. 1994, 76, 6198-6203.
• Makhotkin, V.E.; Shurukhin, B.P.; Lopatin, V.A.; Marchukov, P. Yu.; Levin, Yu. K. Magnetic field sensors based on amorphous ribbons. Sens. Actuators A 1991, 21, 759-762.
• Mohri, K.; Uchiyama, T.; Panina, L.V. Recent advances of micro magnetic sensors and sensing application. Sens. Actuators A 1997, 59, 1-8.

タイトルに関連する用語 (7件)： 応用 ,  リボンベース ,  パターン形成 ,  ソフト ,  強磁性 ,  蛇行 ,  磁気インピーダンス効果