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J-GLOBAL ID：202102214401291172   整理番号：21A0577544

円筒Langmuirプローブを用いた弱衝突低圧プラズマにおける径方向から軌道への遷移におけるイオン質量の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of the Ion Mass in the Radial to Orbital Transition in Weakly Collisional Low-Pressure Plasmas Using Cylindrical Langmuir Probes

著者 (4件)： Regodon Guillermo Fernando (Departamento de Fisica, Campus Universitario de Rabanales, Universidad de Cordoba, 14071 Cordoba, Spain) ,  Diaz-Cabrera Juan Manuel (Departamento de Ingenieria Electrica y Automatica, Campus Universitario de Rabanales, Universidad de Cordoba, 14071 Cordoba, Spain) ,  Palop Jose Ignacio Fernandez (Departamento de Fisica, Campus Universitario de Rabanales, Universidad de Cordoba, 14071 Cordoba, Spain) ,  Ballesteros Jeronimo (Departamento de Fisica, Campus Universitario de Rabanales, Universidad de Cordoba, 14071 Cordoba, Spain)
資料名： Applied Sciences (Web)  (Applied Sciences (Web))
巻： 10  号： 17  ページ： 5727  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7135A  ISSN： 2076-3417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,Debye長比Λ=+/Dに対する正のイオン-中性衝突平均自由行程の関数として,プラズマポテンシャルに関して負バイアスされたときに,低圧,低温ヘリウムプラズマに浸漬された円筒Langmuirプローブによって集められたイオン電流をモデル化する軌道理論の妥当性から,実験的に観測された遷移を示した。アルゴンとネオンプラズマについて研究も行い,これらのガスに対して遷移は観測されなかったが,イオンの質量に基づく比較を可能にした。イオンの半径方向または軌道挙動は,異なるシース理論の妥当性を確立するために必須であるので,パラメータΛおよび=T+/Te,T+およびTeの関数として,それぞれ,正イオンおよび電子温度であるだけでなく,イオン質量の関数としても,そのような遷移の理論解析が提供される。本研究は,ヘリウムプラズマにおける遷移を説明するパラメータとしてのイオン質量の重要性を認識することを可能にした。これらの理論的議論によって動機づけられて,イオン平均自由行程の影響を完全に無視することができず,プローブによって収集されるイオン電流への影響がイオン温度の効果よりも重要でないことを示す遷移におけるΛとパラメータの間の関係を研究するために,新しい測定セットを実行した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *Langmuir探針 ,  *イオン ,  イオン温度 ,  *プラズマ ,  低温 ,  電子温度 ,  プラズマ診断 ,  *低圧 ,  アルゴン ,  テルル ,  ネオン ,  平均自由行程 ,  Debye長 ,  カチオン ,  イオン電流

著者キーワード (8件)： プラズマ表面技術 ,  低温プラズマ ,  イオン温度 ,  イオン-中性電荷交換衝突 ,  イオン平均自由行程 ,  プラズマ診断 ,  Langmuirプローブ ,  シース理論

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (48件)：

• Díaz-Cabrera, J.M.; Fernández Palop, J.I.; Morales Crespo, R.; Hernández, M.A.; Tejero-Del-Caz, A.; Ballesteros, J. Virtual Instrument for automatic low temperature plasmas diagnostic considering finite positive ion temperature. Measurement 2014, 55, 66-73.
• Ballesteros, J.; Fernández Palop, J.I.; Hernández, M.A.; Morales Crespo, R. Influence of the positive ion temperature in cold plasma diagnosis. Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 101501.
• Dengra, A.; Ballesteros, J.; Colomer, V.; Hernández, M.A. Investigation of the creation process in dc pulsed discharges. J. Appl. Phys. 1990, 68, 5507-5510.
• Díaz-Cabrera, J.M.; Lucena-Polonio, M.V.; Fernández Palop, J.I.; Morales Crespo, R.; Hernández, M.A.; Tejero-Del-Caz, A.; Ballesteros, J. Experimental study of the ion current to a cylindrical Langmuir probe taking into account a finite ion temperature. J. Appl. Phys. 2012, 111, 063303.
• Annaratone, B.M.; Allen, M.W.; E Allen, J. Ion currents to cylindrical Langmuir probes in RF plasmas. J. Phys. D Appl. Phys. 1992, 25, 417-424.

タイトルに関連する用語 (9件)： Langmuirプローブ ,  衝突 ,  低圧 ,  プラズマ ,  径方向 ,  軌道 ,  遷移 ,  イオン ,  質量