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J-GLOBAL ID：202102215043768415   整理番号：21A2171362

その後のエッチングによるレーザ干渉により作製した周期的微細構造【JST・京大機械翻訳】

Periodic Microstructures Fabricated by Laser Interference with Subsequent Etching

著者 (5件)： Yang Shuang-Ning ,  Liu Xue-Qing ,  Zheng Jia-Xin ,  Lu Yi-Ming ,  Gao Bing-Rong
資料名： Nanomaterials (Web)  (Nanomaterials (Web))
巻： 10  号： 7  ページ： 1313  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7252A  ISSN： 2079-4991  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 周期的ナノ構造は,マイクロ光学,生物工学およびオプトエレクトロニクスにおいて広い応用を有する。ここでは,その後のエッチング技術によるレーザ干渉を提案し,硬質材料上に制御可能な形態と滑らかな表面を有する均一な周期的ナノ構造を作製した。制御可能な周期(1,2,および3m)と高さを有する1次元マイクロ格子を,数十から数百ナノメートルまで,そして,高い表面平滑度を,この方法によってGaAs上で実現した。周期的微細構造の表面粗さは,その後の誘導結合プラズマ(ICP)エッチングで120nmから40nmまで著しく減少した。角度多重露光によるレーザ干渉を用いて,GaAsの表面に二次元正方形および六角形パターン化微細構造を実現した。エッチングのない試料と比較して,回折効率は,表面品質の改善のために,ドライエッチングを有するサンプルに対して著しく強化することができた。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エッチング ,  微細構造 ,  ヒ化ガリウム ,  回折効率 ,  多重露光 ,  表面粗さ ,  オプトエレクトロニクス ,  二次元 ,  一次元 ,  硬質材料 ,  誘導結合プラズマ ,  ドライエッチング ,  パターン形成 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： *レーザ干渉 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 微細構造 ,  GaAs ,  レーザ干渉 ,  ドライエッチング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (43件)：

• Zhang, A.; Liu, B.; Liu, S.; Li, M.; Zheng, W.; Deng, L.; Liu, J. Novel approach to immobilize Au nanoclusters on micro/nanostructured carbonized natural lotus leaf as green catalyst with highly efficient catalytic activity. Chem. Eng. J. 2019, 371, 876-884.
• Huang, J.; Wang, X.; Wang, Z.L. Controlled replication of butterfly wings for achieving tunable photonic properties. Nano Lett. 2006, 6, 2325-2331.
• Quan, B.; Yao, Z.; Sun, W.; Liu, Z.; Xia, X.; Gu, C.; Li, J. Fabrication of inverted pyramidal pits with Nano-opening by laser interference lithography and wet etching. Microelectron. Eng. 2016, 163, 110-114.
• Zhao, D.; Gao, N.; Jia, R.; Zhang, L.; Yan, W.; Liu, D. Photoresistless fabrication of periodic patterns on GaAs by laser interference photochemical lithography. RSC Adv. 2016, 6, 44057-44061.
• Capretti, A.; Ringsmuth, A.K.; van Velzen, J.F.; Rosnik, A.; Croce, R.; Gregorkiewicz, T. Nanophotonics of higher-plant photosynthetic membranes. Light Sci. Appl. 2019, 8, 5.

タイトルに関連する用語 (4件)： エッチング ,  レーザ干渉 ,  作製 ,  微細構造