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J-GLOBAL ID：202102215756285463   整理番号：21A2489623

ナノスロットパターン形成薄膜の熱輸送研究【JST・京大機械翻訳】

Thermal Transport Study on Nanoslot-Patterned Thin Films

著者 (3件)： Xiao Yue (University of Arizona,Department of Aerospace and Mechanical Engineering,Tucson,AZ,USA) ,  Chen Qiyu (University of Arizona,Department of Aerospace and Mechanical Engineering,Tucson,AZ,USA) ,  Hao Qing (University of Arizona,Department of Aerospace and Mechanical Engineering,Tucson,AZ,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2021  号： ITherm  ページ： 1233-1240  発行年： 2021年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ多孔質薄膜は熱電と熱管理のような潜在的用途のために広く研究されている。一般的な円筒貫通膜細孔と異なり,本研究では,断熱,面内熱異方性,および熱電におけるより良い性能を達成するために,新しいナノスロットパターン設計を研究した。このナノスロットパターンにおいて,矩形細孔あるいは”ナノスロット”を,同じ列内の隣接ナノスロット間の狭いネック幅を有する周期的列でパターン化した。このような狭いネックはフォノン輸送に対する幾何学的収縮であり,ナノスロット列に垂直な方向に沿って格子熱伝導率を大きく低減した。さらに,ナノスロットの隣接列は,同じ方向に沿って面内熱伝導率をさらに低減するためにオフセット方法で配置でき,最終的に非常に高い面内熱伝導率異方性を達成した。もう一つの線に沿って,熱輸送はナノスロットパターンによって厳しく抑制されるが,バルク状電子輸送は,ネック幅と比較して,はるかに短い電子平均自由経路のため,ほとんど無傷である。その結果,熱電性能を改善できる。本研究では,周波数依存フォノンモンテカルロシミュレーションを利用して,調べたパターンの中で37.5の最大室温異方性を有するナノスロットパターンの面内熱伝導率異方性を調べた。熱伝導率と熱電性能を容易に予測するために解析モデルも導いた。ネック幅が5nmに減少すると,計算した熱電性能指数は1100Kで0.58に改善できる。断熱のようなナノスロットパターンの潜在的応用も,熱ガイドである。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 異方性 ,  熱伝導率 ,  *薄膜 ,  円筒 ,  熱管理 ,  周波数依存性 ,  細孔 ,  *パターン形成 ,  解析モデル
準シソーラス用語： ナノポーラス ,  *熱輸送 ,  格子熱伝導率 ,  フォノン輸送 ,  熱電性能指数 ,  電子輸送 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： スロット ,  パターン形成 ,  薄膜 ,  熱輸送 ,  研究