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J-GLOBAL ID：202102215997383535   整理番号：21A0191164

BN薄膜の組成測定のための核反応分析

Nuclear reaction analysis for composition measurement of BN thin films

著者 (4件)： KOBAYASHI T. (Tsuyama National Coll. of Technol.) ,  TAKAMIYA S. (Tsuyama National Coll. of Technol.) ,  KANEMATSU H. (Suzuka National Coll. of Technol.) ,  FUKUI T. (Tsuyama National Coll. of Technol.)
資料名： Proceedings of the International Conference on Nuclear Engineering. Book of Abstracts (Web)  (Proceedings of the International Conference on Nuclear Engineering. Book of Abstracts (Web))
巻： 2011.19  ページ： ROMBUNNO.ICONE19-43421(J-STAGE)  発行年： 2011年08月01日 
JST資料番号： U1252A  ISSN： 2424-2934  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *核反応分析 ,  *窒化ホウ素 ,  組成 ,  重陽子 ,  薄膜 ,  *Rutherford散乱分光法 ,  元素分析 ,  Auger分光法 ,  Van de Graaff加速器 ,  重陽子ビーム

分類 (1件)： 重陽子,三重陽子による反応・散乱  (BG04060J)

タイトルに関連する用語 (4件)： BN ,  薄膜 ,  組成 ,  核反応分析