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J-GLOBAL ID：202102216416688812   整理番号：21A2610193

ビアオープンに対する極端なパターン密度と相互接続ルーティングの影響の解析【JST・京大機械翻訳】

Analysis of Extreme Pattern Density and Interconnects Routing Impacts on Via Open

著者 (10件)： Jiang Yi (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Yew Kwang Sing (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Lin Kemao (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Cheng Weining (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Hsieh Curtis (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Ong Jonathan (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Yi Wanbing (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Chockalingam Ramasamy (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Siah Soh Yun (GLOBALFOUNDRIES,Singapore) ,  Boon Tan Juan (GLOBALFOUNDRIES,Singapore)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IITC  ページ： 61-63  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極端に低い局所金属パターン密度領域における開放による二重ダムセンの2つの現象,およびビアの高密度海による大きなパッド開口への狭い幅の金属線を通して接続した。系統的研究を行い,インテグリティによる二重ダマシンに対する極端なパターン密度設計の影響を調べた。局所金属密度,相互接続金属線幅,長さ,および分離バイアに接続したパッドサイズを調べ,開放による相関を確立し,破壊メカニズムを説明した。最後に,製造解決策のための設計を,全解としてプロセス固定とは別に提案した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *相互接続 ,  開口 ,  海洋 ,  *経路選定 ,  金属線 ,  パッド
準シソーラス用語： 破壊機構 ,  ダマシン ,  高密度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 密度 ,  相互接続 ,  ルーティング ,  解析