インクジェットプリンティングによる短チャネル薄膜トランジスタ

LI Yuzhi; LAN Linfeng; PENG Junbiao

文献

J-GLOBAL ID：202102216622388381 整理番号：21A0834587

インクジェットプリンティングによる短チャネル薄膜トランジスタ

Inkjet-Printed Short-Channel Thin-Film Transistors

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資料名：
巻： 24th ページ： ROMBUNNO.AMD5-5L 発行年： 2017年12月05日
JST資料番号： L4269B ISSN： 1883-2504 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

・インクジェットプリンティングによる短チャネルAg電極に基づくペンタセンTFTを開発。
・インクジェットプリンティングによってデバイス密度の高い短チャネルOTFTを製造するには,インクジェットプリンティングの分解能を高めることが必要。
・インクジェットによる疎水性コーヒーストライプを利用してAgナノ粒子を乾燥させ,ペンタセンTFTのチャネル領域を定義することにより短チャネル化を実現。
・製造したペンタセンTFTのAg電極対は均一性が高く,そのチャネル長は3μm以下であり,優れた移動度を実証。

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トランジスタ

引用文献 (4件)：

H. Minemawari, T. Yamada, H. Matsui, J. Tsutsumi, S. Haas, R. Chiba, R. Kumai, and T. Hasegawa, “Inkjet printing of single-crystal films,” Nature. Vol.475, No. 7356, pp. 364-367 (2011).
Y. Li, L. Lan, P. Xiao, S. Sun, Z. Lin, W. Song, E. Song, P. Gao, W. Wu and J. Peng, “Coffee-ring defined short channels for inkjet-printed metal oxide thin-film transistors,” ACS Appl. Mater. Interfaces, Vol. 8, No. 30, pp. 19643-19648 (2016).
J. Jeon, B. C.-K. Tee, B. Murmann, and Z. Bao, “Micro-imprinted prism substrate for self-aligned short channel organic transistors on a flexible substrate,” Appl. Phys. Lett., Vol. 100, No. 4, pp. 24(2012).
Y. J. Kwon, Y. D. Park, and W. H. Lee, “Inkjet-printed organic transistors based on organic semiconductor/insulating polymer blends,” Materials, Vol. 9, No. 8, pp. 650 (2016).

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