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J-GLOBAL ID：202102216702585515   整理番号：21A0834819

薄膜バルク音響共振器に基づくセンサ:製造から化学的および生物学的分析への応用まで

Sensors Based on Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonators: From Fabrication to Applications in Chemical and Biological Analysis

著者 (7件)： DEMIGUEL-RAMOS M. (Univ. Cambridge, Cambridge, GBR) ,  RUGHOOBUR G. (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  RAJABALINA N. (Univ. the Basque Country UPV/EHU, Sebastian, ESP) ,  HAMZEHLOU S. (Univ. the Basque Country UPV/EHU, Sebastian, ESP) ,  ESCOLANO J.M. (Universidad Politecnica de Madrid, Madrid, ESP) ,  IBORRA E. (Universidad Politecnica de Madrid, Madrid, ESP) ,  FLEWITT A.J. (Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
資料名： Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM)  (Proceedings of the International Display Workshops (CD-ROM))
巻： 24th  ページ： ROMBUNNO.MEET3-2  発行年： 2017年12月05日 
JST資料番号： L4269B  ISSN： 1883-2504  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・薄膜バルク音響共振器(FBAR)は,感度が高く,集積の可能性が高いため,ガス,化学的,生物学的センシングの分野での用途が存在。
・本稿では,FBARの製造とアプリケーション,特に液量のアプリケーションを対象としたものの最近の開発の概要を説明。
・トランスペアレントな共振器の製造に必要なものも含め,デバイスに使用している材料の薄膜蒸着に関する考察から始めて,ボトムアップアプローチを採用。
・せん断モード生成用の圧電フィルムの取得に必要なプロセスに注目し,化学センサ(ポリマー粒子)および生物学的センサ(タンパク質)としての使用例を提示。

シソーラス用語： *音響共振器 ,  *センサ ,  分析 ,  化学分析 ,  剪断 ,  薄膜 ,  窒化アルミニウム ,  酸化亜鉛 ,  蒸着
準シソーラス用語： AlN ,  ZnO ,  圧電フィルム ,  化学的分析 ,  生物学的分析 ,  *薄膜バルク音響共振器 ,  薄膜蒸着

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  共振器  (NC04050Y)

引用文献 (11件)：

• I. Katardjiev and V. Yantchev, “Recent developments in thin film electro-acoustic technology for biosensor applications,” Vacuum, vol. 86, no. 5, pp. 520-531, Jan. 2012.
• G. Wingqvist, J. Bjurstrom, a Hellgren, and I. Katardjiev, “Immunosensor utilizing a shear mode thin film bulk acoustic sensor,” Sensors Actuators B Chem., vol. 127, no. 1, pp. 248-252, Oct. 2007.
• A. J. Flewitt, J. K. Luo, Y. Q. Fu, L. Garcia-Gancedo, X. Y. Du, J. R. Lu, X. B. Zhao, E. Iborra, M. DeMiguel-Ramos, and W. I. Milne, “ZnO based SAW and FBAR devices for bio-sensing applications,” J. Nonnewton. Fluid Mech., vol. 222, pp. 209-216, Aug. 2015.
• Ruby, R. Review and Comparison of Bulk Acoustic Wave FBAR, SMR Technology. In Ultrasonics Symposium, 2007. IEEE, 1029-1040 (2007)
• M. Clement, E. Iborra, J. Olivares, N. Rimmer, S. Giraud, S. Bila, and A. Reinhardt, “DCS Tx filters using AlN resonators with iridium electrodes.,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, vol. 57, no. 3, pp. 518-23, Mar. 2010.

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜バルク音響共振器 ,  化学 ,  生物学 ,  分析 ,  応用