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J-GLOBAL ID：202102217014383553   整理番号：21A0150091

プロセスギャップにおける分散の非線形成長 逆サイクル時間の原因【JST・京大機械翻訳】

Non Linear Growth of Variance in the Process Gaps. A Cause of Adverse Cycle Times

著者 (2件)： Horn George W (Middlesex Industries,SA) ,  Podgorski William (Middlesex Industries,SA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： CSTIC  ページ： 1-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 製造プロセス(OC曲線の係数)における可変性は,その対抗策とともに,長いサイクル時間の主要原因であり,ファブスループットを低減する。IC fabモデルにおいて,基板ロットがステップを通して処理され,各ステップが処理におけるギャップによって追跡される場合,ウエハロットは,インプロセスよりもギャップを通して蓄積された遷移においてより多くの時間を費やすであろう。これらのギャップにおいて,製造可変性の非線形成長は,増殖を通して起こる。次に,変動のこの成長が,ウエハロット緩衝と貯蔵のような安定化手段によって相殺されるので,サイクル時間は増加し(容量減少)。変動の上記の成長の解析を行った。ギャップにおける交互製品取扱法を研究し,この分散のこの成長を最小化し,その結果,ファブサイクル時間(スループット増加)を低減した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： OC曲線 ,  *スループット ,  生産工程
準シソーラス用語： *サイクルタイム ,  シリコンファンドリ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 符号理論  (ND02030R) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y) ,  医用画像処理  (JE04020T) ,  音声処理  (JE05000E)

タイトルに関連する用語 (6件)： プロセス ,  ギャップ ,  非線形 ,  成長 ,  サイクル時間 ,  原因