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J-GLOBAL ID：202102217270077758   整理番号：21A2570252

低周波マイクロホンのための電界効果トランジスタとエレクトレットに基づくマイクロ機械マイクロホンのモデリングと実現可能性研究【JST・京大機械翻訳】

A Modeling and Feasibility Study of a Micro-Machined Microphone Based on a Field-Effect Transistor and an Electret for a Low-Frequency Microphone

著者 (5件)： Shin Kumjae (Safety System R&D Group, Korea Institute of Industrial Technology (KITECH), 15 Jisiksaneop-ro, Hayang-eup, Gyeongsan-si 38408, Gyeongsangbuk-do, Korea) ,  Kim Chayeong (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang-si 37673, Gyeongsangbuk-do, Korea) ,  Sung Min (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang-si 37673, Gyeongsangbuk-do, Korea) ,  Kim Junsoo (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang-si 37673, Gyeongsangbuk-do, Korea) ,  Moon Wonkyu (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang-si 37673, Gyeongsangbuk-do, Korea)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 20  号： 19  ページ： 5554  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小型化容量マイクロホンは,電気的および音響的時定数により,低周波領域で感度劣化をしばしば示す。低周波音検出では,従来のシステムは,大きなダイヤフラムと大きなバックチャンバを有するマイクロホンを使用して,時定数を増加させる。この限界を克服するために,電界効果トランジスタ(ElGoFET)構造上のエレクトレットゲートを提案し,それはエレクトレットに直面する電界効果トランジスタ(FET)搭載ダイヤフラムである。統合FETとエレクトレットから成るセンシング機構の使用は,その音響セノーラ応用(ElGoFETマイクロホン)をリードするダイヤフラム変位の直接検出を可能にし,低周波音を検出する強い能力を持っている。ElGoFETマイクロホンプロトタイプの低周波動作のための理論モデルと設計を研究した。マイクロホンの設計,製作,および音響測定に関する実験的研究を行い,結果を解析予測と比較した。低周波マイクロ電気機械システム(MEMS)マイクロホンとしてのマイクロホンの実現可能性を,直流バイアス電圧(小型化部品を必要とする応用に対して特に興味深い)の必要なしに,低周波領域におけるフラットバンド周波数応答によって実証した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エレクトレット ,  周波数応答 ,  *トランジスタ ,  *マイクロホン ,  音響 ,  *FET【トランジスタ】 ,  小型化 ,  直流 ,  ダイヤフラム ,  *LF【周波数】 ,  時定数 ,  MEMS
準シソーラス用語： 理論モデル ,  チャンバ ,  バイアス電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： エレクトレット ,  電界効果トランジスタ ,  低周波マイクロホン ,  MEMSマイクロホン ,  金属-オキシド-半導体トランジスタ

分類 (3件)： 音響測定  (BB03040R) ,  オーディオ機器  (NC06010U) ,  生体計測  (EL03020C)

引用文献 (19件)：

• Stano, L.; Wind, J.; Bree, H.-E. Acoustic scoring and locating system for rockets, Artillery & Mortars. In Proceedings of the 3rd Wireless World (W3) Workshop, Enschede, The Netherlands, 27-27 September 2011.
• Stubbs, C. Tactical Infrasound. Available online: https://fas.org/irp/agency/dod/jason/infrasound.pdf (accessed on 25 September 2020).
• Altmann, J. Acoustic and seismic signals of heavy military vehicles for co-operative verification. J. Sound Vib. 2004, 273, 713-740.
• Watanabe, K.; Kurihara, Y.; Nakamura, T.; Tanaka, H. Design of a Low-Frequency Microphone for Mobile Phones and Its Application to Ubiquitous Medical and Healthcare Monitoring. IEEE Sens. J. 2010, 10, 934-941.
• Crocker, M.J. Handbook of Acoustics; Wiley: New York, NY, USA, 1998.

タイトルに関連する用語 (8件)： 低周波 ,  マイクロホン ,  電界効果トランジスタ ,  エレクトレット ,  マイクロ機械 ,  モデリング ,  実現可能性 ,  研究