文献

J-GLOBAL ID：202102217468713105   整理番号：21A1821360

電気駆動円形マイクロ膜の静的および動的プルイン【JST・京大機械翻訳】

Static and Dynamic Pull-In of Electrically Actuated Circular Micro-Membranes

著者 (4件)： Sajadi Banafsheh (Technical University of Delft, Delft, The Netherlands) ,  Alijani Farbod (Technical University of Delft, Delft, The Netherlands) ,  Goosen Hans (Technical University of Delft, Delft, The Netherlands) ,  van Keulen Fred (Technical University of Delft, Delft, The Netherlands)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE2016  ページ： Null  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカルデバイスは,センサおよびアクチュエータとして工学デバイスにおいて大きな人気を示した。本論文では,電気的駆動円形マイクロ膜の不安定性,すなわち動的プルイン挙動について研究した。周期解を調べるために,解の分岐と追跡分岐を検出し,エネルギー手法を用いて非線形運動方程式を導出し,擬似アーク長連続と選点法を用いて解いた。硬化および/または軟化非線形応答の両方が印加DC電圧に依存して出現することを示した。結果は,臨界負荷パラメータ,すなわちDCとAC電圧と励起周波数が,ミクロ膜のプルイン特性に主要な影響を及ぼすことを示した。結果は,異なる動的プルイン機構を明らかにした。さらに,それらは動的負荷によるプルイン電圧の減少を正確に示す。提案した近似解は非常に速く,プルイン不安定性を検出するのにロバストである。それは,共振周波数がほぼゼロに等しい動的プルインに近い大域的および局所的軟化挙動の両方の観察を可能にする。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 運動方程式 ,  *動荷重 ,  臨界 ,  アクチュエータ ,  不安定性 ,  センサ ,  交流電圧 ,  選点法 ,  周期解 ,  共振周波数 ,  ロバスト性 ,  直流電圧
準シソーラス用語： 非線形応答 ,  プルイン電圧 ,  励起周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  梁,桁  (HD03020H)

タイトルに関連する用語 (2件)： 電気駆動 ,  円形