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J-GLOBAL ID：202102218314041326 整理番号：21A0834604

自己アライメント・トップゲートIGZO TFTを使用した31インチUD AM-OLEDディスプレイの開発

Development of 31-in UD AM-OLED Display Using Self-aligned Top Gate IGZO TFTs

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資料名：
巻： 24th ページ： ROMBUNNO.AMDp1-9 発行年： 2017年12月05日
JST資料番号： L4269B ISSN： 1883-2504 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

・調整されたプロセスフローと最適処理されたフォトレジストによる自己アライメント・トップゲートIGZO TFTを設計し,それを用いたAM-OLEDディスプレイを開発。
・自己アライメント・トップゲートIGZO TFTの2つの構造を設計・分析して,AM-OLEDのTFT駆動に重要となる良好な伝達特性と出力特性を達成。
・最適処理したフォトレジストを用いてゲート絶縁膜のエッチングを行い,良好な電気特性を有する自己アライメント・トップゲートIGZO TFTを製作。
・この自己アライメント・トップゲートIGZO TFTを用いて,輝点のない31インチAM-OLEDディスプレイを製作。

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表示機器

引用文献 (6件)：

J. S. Park, H. Kim, II. D. Kim, J Electroceram. 32, 117-140, (2014).
Nomura K, Ohta H, Takagi A, Kamiya T, Hirano M, Hosono H, et al. Nature. 432, 488 (2004).
Toshiaki Arai, SID’15 Technical Digest, 69.1, p. 1016(2015).
Narihiro Morosawa, SID’13 Technical Digest, 10.1, p.85 (2013).
Yukinori Shima, SID’16 Technical Digest, 76.3, p. 1037(2016).

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