文献

J-GLOBAL ID：202102220262696617   整理番号：21A0583423

同一回折次数と異なる入射角を持つ2つの検出光に基づくモザイク格子におけるモザイク誤差の分離検出と補正【JST・京大機械翻訳】

Separation detection and correction of mosaic errors in mosaic gratings based on two detection lights with the same diffraction order and different incident angles

著者 (8件)： Yang Guojun (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, No. 3888 Dong Nanhu Road, Changchun, Jilin 130033, China) ,  Yang Guojun (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Qi Xiangdong (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, No. 3888 Dong Nanhu Road, Changchun, Jilin 130033, China) ,  Mi Xiaotao (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, No. 3888 Dong Nanhu Road, Changchun, Jilin 130033, China) ,  Zhang Shanwen (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, No. 3888 Dong Nanhu Road, Changchun, Jilin 130033, China) ,  Yu Hongzhu (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, No. 3888 Dong Nanhu Road, Changchun, Jilin 130033, China) ,  Yu Haili (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, No. 3888 Dong Nanhu Road, Changchun, Jilin 130033, China) ,  Li Xiaotian (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, No. 3888 Dong Nanhu Road, Changchun, Jilin 130033, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 139  ページ： Null  発行年： 2021年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 格子傾斜は,大型格子のための重要な製造技術である。しかし,格子チリング技術を用いて,大きなサイズのエシェル格子を形成するとき,干渉計は格子の零次回折波面を検出できないので,格子のゼロ次回折光は弱いので,この干渉計は格子の零次回折波面を検出できない。これは,モザイク誤差の分離検出と補正を実現するために,格子のゼロ次と非零次回折光の使用を防ぐ。この問題を解決するために,同じ回折次数を有するが,異なる入射角を有する2つの検出光に基づくモザイク格子におけるモザイク誤差の分離検出と補正のための新しい方法を提案して,モザイク誤差検出システムを設計した。次に,モザイク誤差のための補正ステップをまとめて,モザイク誤差検出システムにおける誤差を解析した。最後に,モザイク格子の波面の検出における測定不確実性と格子波面のモザイク精度を解析した。不確実性は0.008λ(λ=632.8nm)であり,ピーク対谷波面のモザイク精度は0.069λであり,波面の高精度測定と波面の高精度モザイクが首尾よく達成されたことを示した。提案方法は,すべてのブレーズ格子のモザイクに使用できる。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *回折 ,  干渉計 ,  不確実性 ,  誤り検出 ,  *モザイク性 ,  波面 ,  生産技術 ,  エシェル格子 ,  入射角
準シソーラス用語： 測定の不確かさ ,  高精度 ,  回折次数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 格子タイリング ,  モザイクエラー ,  分離検出 ,  測定の不確実性 ,  モザイク精度

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 回折次数 ,  入射角 ,  検出光 ,  モザイク ,  格子 ,  誤差