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J-GLOBAL ID：202102221394028884   整理番号：21A0449738

光コムによる高精度非接触測定のための測定条件の検討

An Examination of Measurement Conditions for High-Precision Non-Contact Measurement Using Optical Combs

著者 (6件)： 水野優 (あいち産業科学技術総合セ) ,  河田圭一 (あいち産業科学技術総合セ) ,  児玉英也 (あいち産業科学技術総合セ) ,  斉藤昭雄 (あいち産業科学技術総合セ) ,  島津達哉 (あいち産業科学技術総合セ) ,  菅野祐介 (あいち産業科学技術総合セ)
資料名： あいち産業科学技術総合センター研究報告
号： 9  ページ： 44-47  発行年： 2020年12月 
JST資料番号： S0317C  ISSN： 2187-5073  CODEN： ASKGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光コムを利用した距離計測器による非接触測定において,高精度測定を行うために必要な条件について検討を行った。異なる材質及び表面性状の試料について測定精度をレーザ変位計と比較した結果,試料が金属またはセラミックの場合には測定精度はレーザ変位計を上回るが,プラスチックの場合は下回ることを確認した。また,測定光の入射角や測定距離といった測定条件を変化させた場合,測定光が試料に対して垂直でない場合には測定精度が大幅に低下するが,測定器から試料までの距離の影響は小さいことを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *光源 ,  精度 ,  *非接触測定 ,  表面性状 ,  測定精度 ,  計測器 ,  レーザ応用 ,  セラミック ,  プラスチック ,  ブラスト洗浄 ,  面 ,  加工面 ,  三次元測定 ,  距離測定
準シソーラス用語： *光コム ,  高精度 ,  レーザ変位計 ,  サンドブラスト ,  鏡面 ,  切削面

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (2件)：

• 今井一宏,興梠元伸,寺田総一:レーザー研究,42(9),716-721(2014-09)
• 斉藤昭雄,水野和康,河田圭一,児玉英也,水野優,脇祐介:あいち産業科学技術総合センター研究報告,8,28-29(2019)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光コム ,  非接触測定 ,  測定条件