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J-GLOBAL ID：202102223328811097   整理番号：21A1878097

多重スケールとホモトピー摂動法を用いた静電駆動MEMSカンチレバー共振器のパラメトリック共振【JST・京大機械翻訳】

Parametric Resonance of Electrostatically Actuated MEMS Cantilever Resonators Using Method of Multiple Scales and Homotopy Perturbation Method

著者 (2件)： Reyes Christopher (University of Texas Rio Grande Valley, Edinburg, TX) ,  Caruntu Dumitru I. (University of Texas Rio Grande Valley, Edinburg, TX)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： DSCC2017  ページ： Null  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 静電駆動MEMSカンチレバー共振器の挙動を支配する動力学を研究した。カンチレバーは,板と電極の間のAC電圧で接地板(電極)に平行に保持され,静電作動(励起)を引き起こす。本論文の目的は,ソフト励起である。励起の周波数はカンチレバーの固有振動数に近く,パラメトリック共鳴として知られている。論文を通して調査した問題の静電力は,本質的に非線形であり,フリンジ効果を含んでいる。この問題の調査には2つの方法を用いた:多重スケール(MMS)とホモトピー摂動法(HPM)。2つの方法は,小さな非線形性と小さな振幅のためによく働く。電圧,フリンジ,減衰,Casimir,およびVan der Waalsパラメータの影響を,得られた結果を検証する手段としてMMSとHPMを使用して研究した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共振器 ,  固有振動数 ,  電圧 ,  励起 ,  *片持梁 ,  非線形性 ,  交流電圧 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 静電気力 ,  *マルチスケール ,  静電駆動 ,  ホモトピー摂動法 ,  パラメトリック共鳴 ,  *パラメトリック共振 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多重スケール ,  ホモトピー摂動法 ,  静電駆動 ,  MEMS ,  カンチレバー ,  共振器 ,  パラメトリック共振