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J-GLOBAL ID：202102223342623353   整理番号：21A0876863

NextelTM440繊維上のCVD SiC被覆の堆積機構と厚さ制御【JST・京大機械翻訳】

Deposition Mechanism and Thickness Control of CVD SiC Coatings on NextelTM440 Fibers

著者 (4件)： Wang Yi (Unit 96901 of People’s Liberation Army, Beijing 100094, China) ,  Sun Jian (Unit 96901 of People’s Liberation Army, Beijing 100094, China) ,  Sheng Bing (Unit 96901 of People’s Liberation Army, Beijing 100094, China) ,  Cheng Haifeng (Science and Technology on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China)
資料名： Coatings (Web)  (Coatings (Web))
巻： 10  号： 4  ページ： 408  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7162A  ISSN： 2079-6412  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiC被覆を,1373Kで元のSiC源としてメチルトリクロロシランを用いて,化学蒸着(CVD)により,NextelTM440繊維上に成功裏に合成した。堆積後,繊維は,いくつかのバルジを有する均一なコーティングによって完全に囲まれた。X線回折(XRD),X線光電子分光法(XPS)および高分解能透過型電子顕微鏡(HR-TEM)の結果は,被覆がSiCおよび遊離炭素から成ることを示した。さらに,皮膜の厚さ制御は堆積時間を調整することにより行うことができる。被覆厚さは指数的に上昇し,コーティングの外部は堆積時間が増加するにつれて緩やかになった。約1.5mの厚さは4時間堆積後に得られた。被覆厚さも理論的に計算し,その結果は測定した厚さと良く一致した。最後に,関連する堆積機構を議論し,堆積モデルを構築した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  酸化物 ,  *被覆 ,  X線回折分析 ,  *炭化ケイ素 ,  厚み制御 ,  皮膜 ,  化学蒸着 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： HRTEM ,  遊離炭素 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： SiCコーティング ,  酸化物繊維 ,  化学蒸着 ,  堆積機構 ,  厚み制御

分類 (3件)： 非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

物質索引 (1件)： メチルトリクロロシラン

引用文献 (26件)：

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• Koyanagi, T.; Katoh, Y.; Nozawa, T.; Snead, L.-L.; Kondo, S.; Henager, C.-H., Jr.; Ferraris, M.; Hinoki, T.; Huang, Q. Recent progress in the development of SiC composites for nuclear fusion applications. J. Nucl. Mater. 2018, 511, 544-555.
• Arai, Y.; Inoue, R.; Goto, K.; Kogo, Y. Carbon fiber reinforced ultra-high temperature ceramic matrix composites: A review. Ceram. Int. 2019, 45, 14481-14489.
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• Chawla, K.-K. Interface engineering in mullite fiber/mullite matrix composites. J. Eur. Ceram. Soc. 2008, 28, 447-453.

タイトルに関連する用語 (5件)： 繊維 ,  CVD ,  SiC ,  堆積 ,  厚さ制御